[发明专利]直驱电机取晶装置

说明书

本发明涉及半导体封装技术领域，尤其涉及一种直驱电机取晶装置，包括用于吹吸空气的动力装置、电机、设置在电机转轴上的摆臂、设置在摆臂上的气口以及用于连通动力装置与气口的气管，所述气管分为两部分，分别为第一气管以及第二气管，且所述电机的转子（1）内设有供空气流通的通道（2），所述第一气管一端与动力装置连通，第一气管另一端与电机的转子内的通道（2）一端连通，所述第二气管一端与电机的转子内的通道（2）另一端连通，且第二气管另一端与摆臂上的气口连通。这种取晶装置工作时气路稳定。

技术领域

本发明涉及半导体封装技术领域，尤其涉及一种直驱电机取晶装置。

背景技术

在半导体封装行业中，主要通过取晶装置来进行取晶操作，取晶装置主要包括气路、电机以及设置在电机转轴上的摆臂，气路又包括用于吹吸空气的动力装置、设置在摆臂上的气口以及用于连通动力装置以及气口的气管，由于晶圆非常小，所以控制气路的稳定性成为晶圆抓取成功率和稳定性的关键。现有技术气管在安装时需要通过电机然后连接到摆臂的气口上，这样气管会产生弯折，再加上电机运动时，摆臂会随着转动，进而带动气管不规则收缩，会严重影响到气管内气流的稳定性。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种工作时气路稳定的直驱电机取晶装置。

本发明所采用的技术方案是：一种直驱电机取晶装置，包括用于吹吸空气的动力装置、电机、设置在电机转轴上的摆臂、设置在摆臂上的气口以及用于连通动力装置与气口的气管，气管分为两部分，分别为第一气管以及第二气管，且电机的转子内设有供空气流通的通道，第一气管一端与动力装置连通，第一气管另一端与电机的转子内的通道一端连通，第二气管一端与电机的转子内的通道另一端连通，且第二气管另一端与摆臂上的气口连通。

采用以上结构与现有技术相比，本发明具有以下优点：首先因为在电机转子内设置了通道，所以可以将气管分成两根，即第一气管与第二气管，这样在布置气路时，第一气管与第二气管均不需要折弯了，而且在电机带动摆臂摆动时，也只有第二气管随着摆臂摆动，而且因为第二气管是直接沿着摆臂设置的，所以摆臂在摆动时不会带动第二气管不规则收缩，这样取晶装置工作时气管内的气流会比较稳定，取晶效果较好。

作为优选，电机包括外壳以及转动连接在外壳内的转子，转子靠近摆臂一端设有出气嘴，转子远离摆臂一端设有进气嘴，且进气嘴分别连接第一气管以及通道，出气嘴分别连通第二气管与通道。在通道两端设置进气嘴与出气嘴，这样气管连接比较方便，且气密性较好。

作为优选，转子远离摆臂一端与进气嘴之间还设有吸嘴连接件，且吸嘴连接件与进气嘴之间设有防漏气垫片。这样设置，进气嘴连接更加方便，而且进气嘴与转子之间的气密性更好。

作为优选，它还包括控制器、分路阀以及气动抱紧机构，气动抱紧机构套设在转子外，分路阀一端出气嘴连通，分路阀的另一端两个出口分别与第二气管以及气动抱紧机构连通，且分路阀以及电机均与控制器电连接。这样设置，当需要停止电机时，控制器收到停止电机信号，然后可以控制分路阀连接气动抱紧机构一端的出口导通，这样动力机构可以带动气动抱紧机构工作，将转子抱紧，使得电机能够快速停止。

附图说明

图1为本发明直驱电机取晶装置中的电机的结构示意图。

如图所示：1、转子；2、通道；3、外壳；4、出气嘴；5、进气嘴；6、吸嘴连接件；7、防漏气垫片。

具体实施方式

以下结合附图与具体实施方式对本发明做进一步描述，但是本发明不仅限于以下具体实施方式。