[发明专利]一种掩膜版搬运装置

说明书

本发明公开了一种掩膜版搬运装置，掩膜版包括基层和设置在基层上的保护层，基层表面开设有镂空图案，保护层的四周延伸至临近基层四周的侧壁，掩膜版搬运装置包括：框架，包括矩形的框体部分；多个夹持机构，设置在框体部分的下方，包括端部具有凹槽的夹持部，至少两组夹持机构分别位于框体部分的两相对边所在侧，且两组夹持机构的凹槽相对设置；以及调节机构，连接框架和夹持机构，用于调节框架和夹持部之间的相对位置关系，以改变两组夹持机构的凹槽之间的间距。本发明通过设计一种专门的掩膜版搬运装置，可以仅仅夹持掩膜版上层的基层，而不会接触到下方的保护层，搬运方便，避免了人手对于掩膜版的污染，提高了作业效率。

技术领域

本发明涉及显示面板制作技术领域，尤其涉及一种掩膜版搬运装置。

背景技术

平面显示制造业在制作各类产品时，通常是利用曝光工艺将掩膜版上的图案“印刷”到玻璃上，随着产品的逐步多样化，对应的掩膜版(或名：光罩，即Mask)的规格和样式也就越来越多。

掩膜版的主体部分是由石英玻璃制作，图案(Pattern)部分由金属铬膜制作，多数光罩还会在Pattern区外部加装一层保护薄膜(Pellicle)，用来防止图案受损。然而该保护薄膜的边缘距离掩膜版的边缘很近，以G6代LCD Mask为例，Mask尺寸为：945mm*800mm(厚度为10mm)，而保护薄膜尺寸为：935mm*750mm，保护薄膜边框距Mask边缘最大也只有25mm。

掩膜版运送至工厂时是由一个专用的掩膜版储存箱包装好的，上机使用前需要将掩膜版从储存箱中取出，放入一个曝光机专用的掩膜版盒中；与之操作顺序相反地，如果一种产品近期不生产或是不会再生产，其对应的掩膜版也会从掩膜版盒取出放回储存箱中封存，因此，掩膜版的搬运在工厂是较为频繁的工作。

目前掩膜版的搬运均为人工搬运，由两人分别在掩膜版两侧，分别用双手托起掩膜版，然后两人一起平移来完成掩膜版的搬运转移。这种搬运方式存在诸多不足之处：一方面，由于保护薄膜边框距掩膜版边缘尺寸非常小，且搬运人员手指又不可触碰保护薄膜，因此只可使用手指的第一个指节来托起掩膜版，搬运速度缓慢，导致作业效率低下，且极易滑落，安全风险高；另一方面，人手直接与掩膜版接触，容易给掩膜版表面带来灰尘等颗粒，无法使用；再一方面，同样因为人手直接接触掩膜版，容易在掩膜版表面产生静电，导致灰尘等吸附在掩膜版上。

发明内容

鉴于现有技术存在的不足，本发明提供了一种搬运方便、作业效率高、安全风险低的掩膜版搬运装置，并且掩膜版表面不易吸附灰尘等颗粒物。

为了实现上述的目的，本发明采用了如下的技术方案：

一种掩膜版搬运装置，所述掩膜版包括基层和设置在所述基层上的保护层，所述基层表面开设有镂空图案，所述保护层的四周延伸至临近所述基层四周的侧壁，所述掩膜版搬运装置包括：

框架，包括矩形的框体部分；

多个夹持机构，设置在所述框体部分的下方，包括端部具有凹槽的夹持部，至少两组所述夹持机构分别位于所述框体部分的两相对边所在侧，且所述两组夹持机构的所述凹槽相对设置；以及

调节机构，连接所述框架和所述夹持机构，用于调节所述框架和所述夹持部之间的相对位置关系，以改变所述两组夹持机构的所述凹槽之间的间距。

作为其中一种实施方式，所述框体部分的至少两相对的边上覆盖有防滑的阻尼面。

作为其中一种实施方式，所述框架还包括分别自所述框体部分的两相对边朝底部垂直延伸的两组延伸臂，每组所述延伸臂至少包括两条所述延伸臂，每个所述延伸臂上连接有一个所述夹持机构和所述调节机构。