[发明专利]一种光源系统及滤光冷却装置

权利要求书

1.一种光源系统，其特征在于，包括：

光源，用于产生紫外光；

设置在所述光源的光路上的滤光冷却装置，包括冷却通道、设置在所述冷却通道一侧的滤光片、设置在所述冷却通道与所述滤光片之间的第一穿透层、与所述第一穿透层之间形成所述冷却通道的第二穿透层；其中，

所述冷却通道用于容置冷却流体；

所述滤光片用于过滤所述光源产生的光中的非紫外波段的光；

所述第一穿透层用于将热量传递至所述冷却通道，且将经所述滤光片过滤的光透射至所述冷却通道，并通过所述冷却通道射出；

所述第二穿透层用于阻隔热量传递至所述冷却通道的外面，并将经所述第一穿透层透射的光出射至所述冷却通道的外面；

所述第一穿透层的导热率大于50％，且透射率大于50％；

所述第二穿透层的导热率小于30％，且透射率大于50％。

2.根据权利要求1所述的光源系统，其特征在于，所述第一穿透层的材质是金刚石或者石墨烯。

3.根据权利要求1所述的光源系统，其特征在于，所述第二穿透层的材质是石英玻璃。

4.根据权利要求2或3所述的光源系统，其特征在于，所述第一穿透层和所述第二穿透的厚度均为大于等于1毫米，小于等于10毫米；和/或

所述冷却流体为液体或者气体。

5.根据权利要求1所述的光源系统，其特征在于，所述滤光片为窄带滤光片。

6.根据权利要求1所述的光源系统，其特征在于，所述光源包括紫外高压汞灯以及设置在所述紫外高压汞灯一侧的反射片，所述反射片用于将所述紫外高压汞灯发出的紫外光反射至所述滤光冷却装置。

7.根据权利要求1所述的光源系统，其特征在于，所述滤光冷却装置设置于密封腔体内；

所述密封腔体为透明腔体，所述密封腔体内为惰性气体环境。

8.一种滤光冷却装置，其特征在于，包括冷却通道、设置在所述冷却通道一侧的滤光片、设置在所述冷却通道与所述滤光片之间的第一穿透层、与所述第一穿透层之间形成所述冷却通道的第二穿透层；其中，

所述冷却通道用于容置冷却流体；

所述滤光片用于过滤光源产生的光中的非紫外波段的光；

所述第一穿透层用于将热量传递至所述冷却通道，且将经所述滤光片过滤的光透射至所述冷却通道，并通过所述冷却通道射出；

所述第二穿透层用于阻隔热量传递至所述冷却通道的外面，并将经所述第一穿透层透射的光出射至所述冷却通道的外面；

所述第一穿透层的导热率大于50％，且透射率大于50％；

所述第二穿透层的导热率小于30％，且透射率大于50％。