[发明专利]吸附遮挡装置及具有该装置的蒸镀设备

权利要求书

1.一种吸附遮挡装置，包括：

盒体，一面具有开口；

多片翻转片，相互平行地排列于所述开口，每片所述翻转片的正面设有吸附膜；以及

联动机构，设于所述盒体且连接于各所述翻转片，用以驱动各所述翻转片同步翻转，使所述吸附遮挡装置在一吸附状态和一遮挡状态之间转换；

吸附状态下，各所述翻转片的正面朝外，并封闭所述开口，遮挡状态下，各所述翻转片的反面朝外，并封闭所述开口。

2.根据权利要求1所述的吸附遮挡装置，其特征在于，每片翻转片的与其位于同一平面上的两侧分别设有齿轮，所述联动机构包括：

两条齿条，平行间隔地设于所述开口；

多个齿轮，分别成对地设于多片所述翻转片的两侧，每对所述齿轮分别与两条所述齿条啮合；以及

驱动组件，连接于所述齿条，用以驱动所述齿条移动，而使所述齿条带动各所述翻转片同步翻转。

3.根据权利要求2所述的吸附遮挡装置，其特征在于，所述驱动组件包括：

记忆合金弹片，连接于所述盒体与所述齿条的一端部之间；以及

加热装置，用以加热所述记忆合金弹片；

其中，所述加热装置能够加热所述记忆合金弹片使其伸长，所述加热装置不工作时，所述记忆合金弹片回复为原始长度，所述记忆合金弹片通过伸缩带动所述齿条移动。

4.根据权利要求3所述的吸附遮挡装置，其特征在于，定义所述记忆合金弹片伸长后相比于其原始长度最大的伸长幅度为最大伸长长度，所述记忆合金弹片的最大伸长长度等于所述齿轮的周长的一半。

5.根据权利要求3所述的吸附遮挡装置，其特征在于，所述驱动组件包括分别连接于两条所述齿条的至少两个记忆合金弹片，所述加热装置同时加热两个所述记忆合金弹片，以使两个所述记忆合金弹片的温度同步转变，而使两条所述齿条同步移动。

6.根据权利要求3所述的吸附遮挡装置，其特征在于，所述记忆合金弹片呈片状结构或螺旋状结构；和/或，所述记忆合金弹片的材质为铜锌铝合金。

7.根据权利要求1所述的吸附遮挡装置，其特征在于，所述吸附膜朝向于所述翻转片的一面为壁虎绒毛仿生膜；和/或，所述吸附膜反向于所述翻转片的一面为PI绒毛薄膜。

8.根据权利要求1所述的吸附遮挡装置，其特征在于，所述吸附遮挡装置在吸附状态下和遮挡状态下，每两个相邻的所述翻转片部分重叠。

9.一种蒸镀设备，包括蒸镀腔，所述蒸镀腔内设有权利要求1-8任一项所述的吸附遮挡装置；

其中，所述蒸镀设备进行蒸镀作业时，所述吸附遮挡装置转换为吸附状态，所述蒸镀设备完成蒸镀作业时，所述吸附遮挡装置转换为封闭状态。

10.根据权利要求9所述的蒸镀设备，其特征在于，所述吸附遮挡装置的所述盒体由所述蒸镀腔的腔壁凹陷形成。