[发明专利]吸附遮挡装置及具有该装置的蒸镀设备

说明书

本发明公开一种吸附遮挡装置及具有该装置的蒸镀设备，吸附遮挡装置包括盒体、多片翻转片以及连动机构。盒体一面具有开口。多片翻转片相互平行地排列于开口，每片翻转片的正面设有吸附膜。联动机构设于盒体且连接于各翻转片，用以驱动各翻转片同步翻转，使吸附遮挡装置在一吸附状态和一遮挡状态之间转换。吸附状态下，各翻转片的正面朝外，并封闭开口，遮挡状态下，各翻转片的反面朝外，并封闭开口。本发明吸附状态下，各翻转片的正面朝外且封闭盒体的开口，以利用翻转片正面的吸附膜吸附有机材料粉末。遮挡状态下，各翻转片的反面朝外且封闭盒体的开口，以将吸附状态下吸附到的有机材料粉末遮挡在盒体中，避免有机材料粉末的飞升。

技术领域

本发明涉及蒸镀设备技术领域，具体而言，涉及一种吸附遮挡装置及具有该装置的蒸镀设备。

背景技术

在有机材料的蒸镀过程中，有机材料会沉积在蒸镀腔的腔壁上。在抽气充气的过程，这些沉积在腔壁上的有机材料粉末将再次悬浮，形成杂质颗粒，影响器件的性能。传统方式是添加带有涂层的遮挡板，定期进行更换，但是仍然不能有效的防止沉积材料粉末的飞升。

发明内容

本发明的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种能够有效吸附有机材料粉末并防止其飞升的吸附遮挡装置。

本发明的另一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种具有上述吸附遮挡装置的蒸镀设备。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

根据本发明的一个方面，提供一种吸附遮挡装置，包括盒体、多片翻转片以及连动机构。所述盒体一面具有开口。多片所述翻转片相互平行地排列于所述开口，每片所述翻转片的正面设有吸附膜。所述联动机构设于所述盒体且连接于各所述翻转片，用以驱动各所述翻转片同步翻转，使所述吸附遮挡装置在一吸附状态和一遮挡状态之间转换。吸附状态下，各所述翻转片的正面朝外，并封闭所述开口，遮挡状态下，各所述翻转片的反面朝外，并封闭所述开口。

根据本发明的其中一个实施方式，所述联动机构包括两条齿条、多个齿轮以及驱动组件。两条所述齿条平行间隔地设于所述开口。多个齿轮分别成对地设于多片所述翻转片的两侧，每对所述齿轮分别与两条所述齿条啮合。所述驱动组件连接于所述齿条，用以驱动所述齿条移动，而使所述齿条带动各所述翻转片同步翻转。

根据本发明的其中一个实施方式，所述驱动组件包括记忆合金弹片以及加热装置。所述记忆合金弹片连接于所述盒体与所述齿条的一端部之间。所述加热装置用以加热所述记忆合金弹片。其中，所述加热装置能够加热所述记忆合金弹片使其伸长，所述加热装置不工作时，所述记忆合金弹片回复为原始长度，所述记忆合金弹片通过伸缩带动所述齿条移动。

根据本发明的其中一个实施方式，所述记忆合金弹片的最大伸长长度等于所述齿轮的周长的一半。

根据本发明的其中一个实施方式，所述驱动组件包括分别连接于两条所述齿条的至少两个记忆合金弹片，所述加热装置同时加热两个所述记忆合金弹片，以使两个所述记忆合金弹片的温度同步转变，而使两条所述齿条同步移动。

根据本发明的其中一个实施方式，所述记忆合金弹片呈片状结构或螺旋状结构；和/或，所述记忆合金弹片的材质为铜锌铝合金。

根据本发明的其中一个实施方式，所述吸附膜朝向于所述翻转片的一面为壁虎绒毛仿生膜；和/或，所述吸附膜反向于所述翻转片的一面为PI绒毛薄膜。

根据本发明的其中一个实施方式，所述吸附遮挡装置在吸附状态下和遮挡状态下，每两个相邻的所述翻转片部分重叠。

根据本发明的另一个方面，提供一种蒸镀设备，包括蒸镀腔，所述蒸镀腔内设有以上实施方式所述的吸附遮挡装置。其中，所述蒸镀设备进行蒸镀作业时，所述吸附遮挡装置转换为吸附状态，所述蒸镀设备完成蒸镀作业时，所述吸附遮挡装置转换为封闭状态。