[发明专利]一种超细熔融石英硅微粉的生产方法在审
| 申请号： | 201710662110.8 | 申请日： | 2017-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN109384242A | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | 郭涛 | 申请（专利权）人： | 江苏锡沂高新区科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/18 | 分类号： | C01B33/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221400 江苏省徐州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 熔融石英 硅微粉 超细 研磨 生产 大规模集成电路 精加工领域 生产成本低 高纯石英 污水废气 磁选 分级 石英 生产工艺 破碎 排放 | ||
【权利要求书】：
1.一种超细熔融石英硅微粉的生产方法，该方法以优质高纯石英块为原料，通过破碎、磁选、一级普通研磨、一级超细研磨、分级等工艺来生产纳米级超细熔融石英硅微粉，其特征是：
（1）将优质高纯石英块送入破碎机破碎，得到直径小于3毫米的熔融石英砂；
（2）将熔融石英砂送入磁选机，将含磁、含金属及金属氧化物的熔融石英砂进行分离去除，磁选时间为0.3-0.4小时；
（3）将磁选后的熔融石英砂送到研磨机进行研磨，控制研磨机的进料和出料速度均衡，保持研磨时间为2.5-3.0小时；
（4）经第一级研磨机研磨后的粉体送至纳米级超细磨进行研磨，研磨时间为4.5-5.0小时，研磨后送振动筛进行筛分，粒度超过1.5微米的返回纳米级超细磨重复研磨，粒度低于1.5微米的出料包装即可。
2.根据权利要求1所述的一种超细熔融石英硅微粉的生产方法，其特征是：所述的超细熔融石英硅微粉的粒度为1.5微米以下。
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