[发明专利]一种超细熔融石英硅微粉的生产方法

说明书

本发明公开了一种超细熔融石英硅微粉的生产方法，该产品属于石英精加工领域；本发明以优质高纯石英块为原料，通过破碎、磁选、一级普通研磨、一级超细研磨、分级等工艺来生产超细熔融石英硅微粉，该生产方法具有：生产工艺简单、生产成本低、无污水废气排放、可批量生产出超细熔融石英硅微粉，产品主要用大规模集成电路。

技术领域

本发明属于石英石精加工领域，尤其涉及一种超细熔融石英硅微粉的生产方法。

背景技术

熔融石英是二氧化硅的非晶态，其二氧化硅的含量不得少于 99.8% ，生产时将精选的天然石英石在炉内高温熔融，熔融温度为1800℃-1900℃，熔融时间约12小时后成为熔融状态，冷却后成为固态熔融石英，熔融石英具有使用温度高、热膨胀系数低、耐磨性能好、硬度高、透光折射性好、压电性能优异等一系列优点。熔融石英的产品有：各种规格和不同用途的熔融石英砂、熔融石英块和熔融石英硅微粉。熔融石英硅微粉是由熔融石英石经破碎、磁选、研磨、分级等多道工艺加工而成的硅微粉，是一种无毒、无味、无污染的无机非金属材料，超细熔融硅微粉是一种粒度小于1.5微米的熔融硅微粉，在生产中因其较粒度更细，生产难度加大在2015年前国内尚无法生产，直至到进口了德国生产的纳米级超细磨后才能是硅微粉粒度达到1.5微米之下。本发明是一种超细熔融石英硅微粉，其二氧化硅的含量在99.99%以上，粒度在1.5微米以下，该产品系选用高纯天然石英，经高温熔炼，冷却后形成的熔融石英块进行一次普通研磨、一次经纳米级超细磨研磨加工而成的微粉，具有纯度高、热膨胀系数小、低放射性、耐化学腐蚀等优点，其外观为白色粉末，容重为200-230千克/立方米，主要用于超大规模集成电路。本发明以优质高纯石英块为原料，通过破碎、磁选、一级普通研磨、一级纳米级超细磨研磨、分级等工艺加工而成，该工艺流程的主要优点是：工艺简单、无有毒有害气体和液体排放、可批量生产并生产出高质量的纳米级超细熔融石英硅微粉。

发明内容

本发明主要解决的问题是提供一种超细熔融石英硅微粉的生产方法，该方法以优质高纯石英块为原料，通过破碎、磁选、一级普通研磨、一级超细研磨、分级等工艺来生产超细熔融石英硅微粉。

本发明可以通过以下技术方案来实现：

（1）将优质高纯石英块送入破碎机破碎，得到直径小于3毫米的熔融石英砂。

（2）将熔融石英砂送入磁选机，将含磁、含金属及金属氧化物的熔融石英砂进行分离去除，磁选时间为0.3-0.4小时。

（3）将磁选后的熔融石英砂送到普通研磨机进行研磨，控制研磨机的进料和出料速度均衡，保持研磨时间为2.5-3.0小时。

（4）经第一级研磨机研磨后的粉体送至纳米级超细磨进行研磨，研磨时间为4.5-5.0小时，研磨后送振动筛进行筛分，粒度超过1.5微米的返回纳米级超细磨重复研磨，粒度低于1.5微米的出料包装即可。

优选的，所述的超细熔融石英硅微粉的粒度为1.5微米以下。

本发明的有益效果是：提供了一种超细熔融石英硅微粉的生产方法，该生产方法具有：生产工艺简单、生产成本低、无污水废气排放、可批量生产出纳米级超细熔融石英硅微粉，产品主要用大规模集成电路。

具体实施方式

下面结合具体的实施例，进一步详细描述本发明。

实施例1

将优质高纯石英块送入破碎机破碎，得到直径小于3毫米的熔融石英砂；将熔融石英砂送入磁选机，将含磁、含金属及金属氧化物的熔融石英砂进行分离去除，磁选时间为0.3小时；将磁选后的熔融石英砂送到研磨机进行研磨，控制研磨机的进料和出料速度均衡，保持研磨时间为2.5小时；经第一级研磨机研磨后的粉体送至纳米级超细磨进行研磨，研磨时间为4.5小时，研磨后送振动筛进行筛分，粒度超过1.5微米的返回纳米级超细磨重复研磨，粒度低于1.5微米的出料包装即可。