[发明专利]一种柔性显示面板、其制作方法及显示装置有效
申请号: | 201710662899.7 | 申请日: | 2017-08-04 |
公开(公告)号: | CN107425044B | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 李小龙;刘政;王本莲 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L21/77;H01L51/56 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 郭润湘 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 柔性 显示 面板 制作方法 显示装置 | ||
1.一种柔性显示面板,其特征在于,包括:柔性基底,以及位于所述柔性基底之上的有源层、栅极层,以及源漏金属层;其中,
所述有源层与所述栅极层之间设有栅极绝缘层,所述栅极层与所述源漏金属层之间设有层间绝缘层;
在显示区内,所述栅极绝缘层和所述层间绝缘层的图形在所述柔性基底上的正投影,位于所述有源层,所述栅极层以及所述源漏金属层的图形在所述柔性基底上的正投影的区域内;
所述层间绝缘层的图形在所述柔性基底上的正投影的面积,小于所述栅极绝缘层的图形在所述柔性基底上的正投影的面积。
2.如权利要求1所述的柔性显示面板,其特征在于,在所述柔性基底之上,除所述有源层、所述栅极层以及所述源漏金属层的图形之外的所述显示区内,填充有机材料。
3.如权利要求2所述的柔性显示面板,其特征在于,所述有源层与所述柔性基底之间设有缓冲层;
填充的所述有机材料的厚度,小于所述层间绝缘层背离所述柔性基底一侧的表面与所述缓冲层背离所述柔性基底一侧的表面之间的最大距离。
4.如权利要求1~3任一项所述的柔性显示面板,其特征在于,所述层间绝缘层由聚酰亚胺材料构成。
5.一种柔性显示面板的制作方法,其特征在于,包括:
在柔性基底上形成有源层;
在所述有源层之上形成栅极绝缘层以及栅极层;
在所述栅极层之上形成层间绝缘层以及源漏金属层;其中,
在显示区内,所述栅极绝缘层和所述层间绝缘层的图形在所述柔性基底上的正投影,位于所述有源层,所述栅极层以及所述源漏金属层的图形在所述柔性基底上的正投影的区域内。
6.如权利要求5所述的制作方法,其特征在于,所述栅极绝缘层的图形按以下方法得到:
在形成所述栅极绝缘层之后,以及形成所述栅极层之前,对所述栅极绝缘层进行刻蚀,得到所述栅极绝缘层的图形。
7.如权利要求5所述的制作方法,其特征在于,所述层间绝缘层的图形按以下方法得到:
在形成所述层间绝缘层之后,以及形成所述源漏金属层之前,对所述层间绝缘层进行刻蚀,得到所述层间绝缘层的图形。
8.如权利要求5所述的制作方法,其特征在于,所述栅极绝缘层和所述层间绝缘层的图形按以下方法得到:
在形成所述层间绝缘层之后,对所述层间绝缘层和所述栅极绝缘层进行刻蚀,得到所述层间绝缘层和所述栅极绝缘层的图形。
9.一种显示装置,其特征在于,包括:如权利要求1~4任一项所述的柔性显示面板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的