[发明专利]一种柔性显示面板、其制作方法及显示装置

说明书

本发明公开了一种柔性显示面板、其制作方法及显示装置，该柔性显示面板，包括：柔性基底，以及位于柔性基底之上的有源层、栅极层，以及源漏金属层；其中，有源层与栅极层之间设有栅极绝缘层，栅极层与源漏金属层之间设有层间绝缘层；在显示区内，栅极绝缘层和/或层间绝缘层的图形在柔性基底上的正投影，位于有源层，栅极层以及源漏金属层的图形在柔性基底上的正投影的区域内。由于在显示区内，有源层，栅极层以及源漏金属层的图形在柔性基底上的正投影以外的区域，不设置栅极绝缘层和/或层间绝缘层的图形，相比于现有技术中栅极绝缘层和层间绝缘层整层设置，减小了柔性显示面板中无机膜层的应力，提高了柔性显示面板的耐弯折性能。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤指一种柔性显示面板、其制作方法及显示装置。

背景技术

主动矩阵有机电致发光显示器(Active-matrix organic light emittingdiode，AMOLED)具有亮度高、色域宽、分辨率高、功耗低等特点被认为是下一代显示器的最佳选择，而AMOLED显示技术中其背板技术一般采用载流子迁移率较高的低温多晶硅(LowTemperature Poly-silicon，LTPS)薄膜晶体管。LTPS-AMOLED技术同时可以极大的应用于柔性显示器。

现有技术中，柔性显示器由于本身柔性基底的不平整性、无机膜层的应力过大，以及后续需经历多次弯折等原因，导致背板内部的无机膜层易发生开裂。在柔性低温多晶硅薄膜晶体管在制备过程中，采用较厚的层间介电层(Inter-Layer Dielectric，ILD)作为层间绝缘层，层间绝缘层中SiNx的厚度约因此膜层内部存在较大的拉应力，从而易导致后续在弯折测试中引起开裂，同理，栅极绝缘层(GI层)中SiNx也具有拉应力，也容易引起膜层开裂。

目前，通常解决膜层开裂问题的方法是调整无机膜沉积工艺或者调整厚度使压应力与拉应力进行抵消，但是该方法应力可调整范围较为有限或者工艺较为复杂，很难起到彻底解决应力问题的作用。

因此，如何改善柔性显示器中无机膜层的应力是急需解决的技术问题。

发明内容

本发明实施例提供一种柔性显示面板、其制作方法及显示装置，用以解决现有技术中存在的无法解决柔性显示器中无机膜层容易开裂的问题。

本发明实施例提供了一种柔性显示面板，包括：柔性基底，以及位于所述柔性基底之上的有源层、栅极层，以及源漏金属层；其中，

所述有源层与所述栅极层之间设有栅极绝缘层，所述栅极层与所述源漏金属层之间设有层间绝缘层；

在显示区内，所述栅极绝缘层和/或所述层间绝缘层的图形在所述柔性基底上的正投影，位于所述有源层，所述栅极层以及所述源漏金属层的图形在所述柔性基底上的正投影的区域内。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述柔性显示面板中，所述层间绝缘层的图形在所述柔性衬底上的正投影的面积，小于所述栅极绝缘层的图形在所述柔性衬底上的正投影的面积。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述柔性显示面板中，在所述柔性基底之上，除所述有源层、所述栅极层以及所述源漏金属层的图形之外的所述显示区内，填充有机材料。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述柔性显示面板中，填充的所述有机材料的厚度，小于所述层间绝缘层背离所述柔性基底一侧的表面与所述缓冲层背离所述柔性基底一侧的表面之间的最大距离。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述柔性显示面板中，所述层间绝缘层由聚酰亚胺材料构成。

本发明实施例还提供了一种柔性显示面板的制作方法，包括：

在柔性基底上形成有源层；

在所述有源层之上形成栅极绝缘层以及栅极层；