[发明专利]一种清洗夹具在审
| 申请号： | 201710665883.1 | 申请日： | 2017-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN107507801A | 公开（公告）日： | 2017-12-22 |
| 发明（设计）人： | 李海燕 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 工业和信息化部电子专利中心11010 | 代理人： | 田卫平 |
| 地址： | 100015*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 夹具 | ||
1.一种清洗夹具，其特征在于，包括：
夹具底座、夹具顶盖和夹具固定杆；
其中，所述夹具底座上设置有多条第一通道，每条所述第一通道均为具有中空结构的中空槽，所述中空槽的横截面为等腰梯形，所述等腰梯形的下底边靠近所述夹具顶盖，所述等腰梯形的上底边远离所述夹具顶盖，所述等腰梯形的上底边边长长度小于待清洗的芯片表面短边的长度；
所述夹具顶盖上设置有多条第二通道，每条所述第二通道均为具有中空结构的中空槽，所述中空槽的横截面为长方形，所述长方形的中空槽平行于所述等腰梯形上底边或下底边的边长长度小于所述芯片表面短边的长度；
所述夹具底座与所述夹具顶盖通过所述夹具固定杆固定连接。
2.如权利要求1所述的清洗夹具，其特征在于，
所述第一通道的所述中空槽的两个斜面上分别设置有多对一一对应的凹槽，所述凹槽用于放置夹具隔板，所述夹具隔板的横截面为等腰梯形，所述芯片放置在每两个相邻的夹具隔板之间的中空槽中。
3.如权利要求2所述的清洗夹具，其特征在于，
所述夹具隔板的横截面的等腰梯形尺寸与所述凹槽对应的等腰梯形相匹配。
4.如权利要求2所述的清洗夹具，其特征在于，
所述夹具隔板的厚度与所述凹槽的宽度相同，所述夹具隔板的等腰梯形高度与所述凹槽的深度相同。
5.如权利要求4所述的清洗夹具，其特征在于，
所述夹具隔板的厚度在1.5毫米至3毫米之间。
6.如权利要求1所述的清洗夹具，其特征在于，
所述长方形的中空槽平行于所述等腰梯形的上底边或下底边的边长长度与所述等腰梯形的上底边的边长长度相等。
7.如权利要求1所述的清洗夹具，其特征在于，
在所述夹具底座四个直角位置分别设置有一个通孔，所述夹具顶盖与所述四个直角位置对应的位置设置有一一对应的通孔，所述夹具固定杆贯通插入所述通孔。
8.如权利要求7所述的清洗夹具，其特征在于，每个所述通孔的尺寸均相同。
9.如权利要求2至4任一项所述的清洗夹具，其特征在于，相邻凹槽的设置宽度小于所述芯片表面短边的长度。
10.如权利要求1至7中任一项所述的清洗夹具，其特征在于，所述夹具固定杆包括螺钉和螺母。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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