[发明专利]一种清洗夹具

说明书

技术领域

本发明涉及微电子工艺领域，特别是涉及一种清洗夹具。

背景技术

随着微电子技术的进展，微电子器件的集成度不断提高，对芯片表面洁净度的要求越来越高。

在生产线上，由于芯片具有种类繁多、数量大、面积微小、体积微小和材料易碎等特点，且在芯片等半导体器件的制作过程中，需要时刻保持产品、环境及工艺人员的高清洁度，因此，在一些工艺环节涉及到器件的超声、兆声清洗时，采用人工夹取清洗的方式易造成器件崩边、裂片、表面划伤，直接影响器件性能及可靠性，同时生产率低、耗时长。

发明内容

本发明提供一种清洗夹具，用以解决现有技术需要人工夹取芯片清洗导致芯片损坏以及清洗效率较低的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种清洗夹具，包括：夹具底座、夹具顶盖和夹具固定杆。其中，所述夹具底座上设置有多条第一通道，每条所述第一通道均为具有中空结构的中空槽，所述中空槽的横截面为等腰梯形，所述等腰梯形的下底边靠近所述夹具顶盖，所述等腰梯形的上底边远离所述夹具顶盖，所述等腰梯形的上底边边长长度小于待清洗的芯片表面短边的长度；所述夹具顶盖上设置有多条第二通道，每条所述第二通道均为具有中空结构的中空槽，所述中空槽的横截面为长方形，所述长方形的中空槽平行于所述等腰梯形上底边或下底边的边长长度小于所述芯片表面短边的长度；所述夹具底座与所述夹具顶盖通过所述夹具固定杆固定连接。

可选的，所述第一通道的所述中空槽的两个斜面上分别设置有多对一一对应的凹槽，所述凹槽用于放置夹具隔板，所述夹具隔板的横截面为等腰梯形，所述芯片放置在每两个相邻的夹具隔板之间的中空槽中。

可选的，所述夹具隔板的横截面的等腰梯形尺寸与所述凹槽对应的等腰梯形相匹配。

可选的，所述夹具隔板的厚度与所述凹槽的宽度相同，所述夹具隔板的等腰梯形高度与所述凹槽的深度相同。

可选的，所述夹具隔板的厚度在1.5毫米至3毫米之间。

可选的，所述长方形的中空槽平行于所述等腰梯形的上底边或下底边的边长长度与所述等腰梯形的上底边的边长长度相等。

可选的，在所述夹具底座四个直角位置分别设置有一个通孔，所述夹具顶盖与所述四个直角位置对应的位置设置有一一对应的通孔，所述夹具固定杆贯通插入所述通孔。

可选的，每个所述通孔的尺寸均相同。

可选的，相邻凹槽的设置宽度小于所述芯片表面短边的长度。

可选的，所述夹具固定杆包括螺钉和螺母。

本发明提供了一种清洗夹具，在进行清洗时，洗液通过夹具底座等腰梯形中空槽与夹具顶盖长方形的中空槽实现流通，芯片表面的异物在洗液流通过程中脱落后，通过夹具底座的等腰梯形中空槽随洗液流出，采用本发明提供的清洗夹具进行芯片清洗，清洗过程中不人工触及芯片表面，并且同时可以实现单种多片或多种不同芯片的同时清洗，提高了清洗效率，并保证了对芯片的保护，具有较高的可靠性，解决了现有技术的如下问题：现有清洗过程易造成半导体器件崩边、裂片或表面划伤等损伤，效率较低，可靠性难以保证。

附图说明

图1是本发明实施例中，清洗夹具的三维结构示意图；

图2是本发明实施例中，夹具底座的前视剖面示意图；

图3是本发明实施例中，夹具底座的俯视示意图；

图4是本发明实施例中，夹具底座的前视示意图；

图5是本发明实施例中，夹具底座的侧视示意图；

图6是本发明实施例中，设置有凹槽的夹具底座的前视剖面示意图；

图7是本发明实施例中，夹具隔板的俯视示意图；

图8是本发明实施例中，夹具隔板的前视示意图；

图9是本发明实施例中，夹具顶盖放置在夹具底座上的前视剖面示意图；

图10是本发明实施例中，夹具顶盖的俯视示意图；

图11是本发明实施例中，夹具顶盖的前视示意图；

图12是本发明实施例中，夹具顶盖的侧视示意图；

图13是本发明实施例中，夹具固定杆的俯视示意图；

图14是本发明实施例中，夹具固定杆的前视示意图；

图15是本发明实施例中，芯片清洗过程的极限情况示意图。

具体实施方式