[发明专利]一种硅片快速翻转机构在审
| 申请号： | 201710667300.9 | 申请日： | 2017-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN107452656A | 公开（公告）日： | 2017-12-08 |
| 发明（设计）人： | 张学强;戴军;张建伟;贾宇鹏 | 申请（专利权）人： | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)11369 | 代理人： | 韩飞 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 快速 翻转 机构 | ||
1.一种硅片快速翻转机构(1)，其特征在于，包括：平行且间隔设置的左支板(11)与右支板(12)，其中，左支板(11)与右支板(12)中可转动地设有转轴(13)，转轴(13)的一端传动地连接有驱动器(132)，转轴(13)上固定地套设有至少一组用于放置硅片(2)的翻转组件(14)，翻转组件(14)可随转轴(13)在驱动器(132)的驱动下按一定规律旋转从而将硅片(2)从一面翻转至另一面。
2.如权利要求1所述的硅片快速翻转机构(1)，其特征在于，翻转组件(14)包括两片平行且间隔设置的翻转盘(141)，两片翻转盘(141)的间距不大于硅片(2)的长度。
3.如权利要求2所述的硅片快速翻转机构(1)，其特征在于，翻转盘(141)呈圆盘形结构，转轴(13)从翻转盘(141)的圆心穿过。
4.如权利要求3所述的硅片快速翻转机构(1)，其特征在于，翻转盘(141)上均匀地开设有若干条以其圆心为中心呈放射状的半封闭式容纳槽(1411)，该容纳槽(1411)在翻转盘(141)的边缘处与外界相连通。
5.如权利要求4所述的硅片快速翻转机构(1)，其特征在于，转轴(13)的其中一端固接有角度感应端(131)，与该角度感应端相(131)对应的一侧设有转角传感器(121)，该转角传感器(121)与驱动器(132)电连接。
6.如权利要求5所述的硅片快速翻转机构(1)，其特征在于，假定容纳槽(1411)设有N条，转角传感器(121)控制驱动器(132)每转过角停顿一次。
7.如权利要求6所述的硅片快速翻转机构(1)，其特征在于，容纳槽(1411)设有10条，转角传感器(121)控制驱动器(132)每转过36°角停顿一次。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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