[发明专利]一种硅片快速翻转机构在审
申请号: | 201710667300.9 | 申请日: | 2017-08-07 |
公开(公告)号: | CN107452656A | 公开(公告)日: | 2017-12-08 |
发明(设计)人: | 张学强;戴军;张建伟;贾宇鹏 | 申请(专利权)人: | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)11369 | 代理人: | 韩飞 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 快速 翻转 机构 | ||
技术领域
本发明涉及太阳能电池硅片处理技术领域,特别涉及一种硅片快速翻转机构。
背景技术
一般来讲,太阳能电池硅片工艺处理步骤包括以下个步骤:1、制绒,将硅片表面腐蚀成金字塔状的形貌;2、扩散,硅片表面形成PN结;3、刻蚀,将硅片边缘的PN结去掉,防止电池短路;4、去PSG,清洗硅片表面,去除二氧化硅层;5、PECVD,在硅片表面镀一层减反射膜;6、印刷烧结,印刷电极及背场,并烘干烧结。在上述工艺处理步骤中,需要在将硅片反复翻转,在现有技术中,翻转步骤通常有人工完成,自动化程度低,单次能够翻转的硅片数量有限,还容易在翻转过程中对硅片造成污染,从而降低成品率,工作效率低下,提高了生产成本,有鉴于此,实有必要开发一种硅片快速翻转机构,用以解决上述问题。
发明内容
针对现有技术中存在的不足之处,本发明的目的是提供一种硅片快速翻转机构,其在提高硅片翻转效率的同时,还能够降低对硅片表面的污染及划伤,提高成品率,降低生产成本,提高生产效率。
为了实现根据本发明的上述目的和其他优点,提供了一种硅片快速翻转机构,包括:平行且间隔设置的左支板与右支板,其中,左支板与右支板中可转动地设有转轴,转轴的一端传动地连接有驱动器,转轴上固定地套设有至少一组用于放置硅片的翻转组件,翻转组件可随转轴在驱动器的驱动下按一定规律旋转从而将硅片从一面翻转至另一面。
优选的是,翻转组件包括两片平行且间隔设置的翻转盘,两片翻转盘的间距不大于硅片的长度。
优选的是,翻转盘呈圆盘形结构,转轴从翻转盘的圆心穿过。
优选的是,翻转盘上均匀地开设有若干条以其圆心为中心呈放射状的半封闭式容纳槽,该容纳槽在翻转盘的边缘处与外界相连通。
优选的是,转轴的其中一端固接有角度感应端,与该角度感应端相对应的一侧设有转角传感器,该转角传感器与驱动器电连接。
优选的是,假定容纳槽设有N条,转角传感器控制驱动器每转过角停顿一次以便于上料及下料。
优选的是,容纳槽设有10条,转角传感器控制驱动器每转过36°角停顿一次。
本发明与现有技术相比,其有益效果是:其在提高硅片翻转效率的同时,还能够降低对硅片表面的污染及划伤,提高成品率,降低生产成本,提高生产效率。
附图说明
图1为根据本发明所述的硅片快速翻转机构的三维结构视图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步的详细说明,本发明的前述和其它目的、特征、方面和优点将变得更加明显,以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。在附图中,为清晰起见,可对形状和尺寸进行放大,并将在所有图中使用相同的附图标记来指示相同或相似的部件。在说明书中,诸如“前部”、“后部”、“上部”、“下部”、“顶部”和“底部”及其衍生词的相对术语应当被解释为是指如然后所述的或如在被讨论的附图中所示出的取向。这些相对术语是为了说明方便起见并且通常并不旨在需要具体取向。涉及附接、联接等的术语(例如,“连接”和“附接”)是指这些结构通过中间结构彼此直接或间接固定或附接的关系、以及可动或刚性附接或关系,除非以其他方式明确地说明。
参照图1,硅片快速翻转机构1包括:平行且间隔设置的左支板11与右支板12,其中,左支板11与右支板12中可转动地设有转轴13,转轴13的一端传动地连接有驱动器132,转轴13上固定地套设有至少一组用于放置硅片2的翻转组件14,翻转组件14可随转轴13在驱动器132的驱动下按一定规律旋转从而将硅片2从一面翻转至另一面。在优选的实施方式中,翻转组件14设有5组。
再次参照图1,翻转组件14包括两片平行且间隔设置的翻转盘141,两片翻转盘141的间距不大于硅片2的长度。
进一步地,翻转盘141呈圆盘形结构,转轴13从翻转盘141的圆心穿过。
再次参照图1,翻转盘141上均匀地开设有若干条以其圆心为中心呈放射状的半封闭式容纳槽1411,该容纳槽1411在翻转盘141的边缘处与外界相连通,以便于硅片2放入容纳槽1411或者从容纳槽1411中取出。
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