[发明专利]一种线宽测量设备和方法

权利要求书

1.一种线宽测量设备，其特征在于，包括：

至少一个超声波收发装置；

位置调整装置，所述位置调整装置与所述至少一个超声波收发装置相连接，用于调整所述至少一个超声波收发装置的位置，使得所述至少一个超声波收发装置位于显示基板的布线之间；

计算装置，与所述至少一个超声波收发装置相连接，用于根据所述至少一个超声波收发装置发出超声波的时间和接收到反射回的超声波的时间来计算线宽；

所述至少一个超声波收发装置中的每一个包括两个超声波收发单元，所述计算装置为与所述至少一个超声波收发装置通信连接的单片机，

所述单片机选通所述至少一个超声波收发装置中的超声波收发单元，并统计超声波收发时间间隔，根据所述时间间隔输出线宽测量值；

显微镜，与所述位置调整装置相连接，所述位置调整单元与所述单片机通信连接，所述单片机与上位机通信连接，所述位置调整单元根据所述上位机的第一指令带动所述显微镜做左右、前后和/或升降运动，以确定所述至少一个超声波收发装置进行测量时所处的位置，所述位置调整单元还根据所述上位机的第二指令带动所述至少一个超声波收发装置做左右、前后和/或升降运动，以使所述至少一个超声波收发装置位于所述显示基板的布线之间。

2.根据权利要求1所述的线宽测量设备，其特征在于，所述至少一个超声波收发装置包括第一超声波收发装置和第二超声波收发装置，所述第一超声波收发装置和所述第二超声波收发装置中的每一个包括超声波探头，所述位置调整装置调整所述第一超声波收发装置和所述第二超声波收发装置分别位于第一布线的两侧，所述计算装置用于根据所述第一超声波收发装置发送超声波的时间和接收到反射回的超声波的时间、所述第二超声波收发装置发送超声波的时间和接收到反射回的超声波的时间以及所述第一超声波收发装置和所述第二超声波收发装置之间的距离来计算所述第一布线的线宽。

3.根据权利要求1所述的线宽测量设备，其特征在于，所述至少一个超声波收发装置包括第一超声波收发装置，所述第一超声波收发装置包括第一超声波收发单元和第二超声波收发单元，所述第一超声波收发单元和所述第二超声波收发单元中的每一个包括超声波探头，所述位置调整装置调整所述第一超声波收发装置位于第一布线和第二布线之间，所述计算装置根据所述第一超声波收发单元发送超声波的时间和接收到反射回的超声波的时间以及所述第二超声波收发单元发送超声波的时间和接收到反射回的超声波的时间来计算所述第一布线与所述第二布线之间的线宽。

4.如权利要求3所述的线宽测量设备，其特征在于，所述位置调整装置进一步根据上位机的指令带动所述至少一个超声波收发装置做旋转运动，以使得所述至少一个超声波收发装置发出的超声波可以垂直于所述布线的边界。

5.如权利要求4所述的线宽测量设备，其特征在于，所述至少一个超声波收发装置包括两个超声波收发装置，所述两个超声波收发装置的旋转方向相反。

6.如权利要求5所述的线宽测量设备，其特征在于，所述至少一个超声波收发装置包括两个超声波收发装置，所述两个超声波收发装置的旋转角度相同。

7.一种线宽测量方法，用于权利要求1-6中任一所述的线宽测量设备，其特征在于，包括：

调整至少一个超声波收发装置的位置，使得所述至少一个超声波收发装置位于显示基板的布线之间；

控制每个超声波收发装置发出超声波和/或接收超声波；

根据所述至少一个超声波收发装置发出超声波的时间和接收到反射回的超声波的时间来计算线宽。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，还包括：

利用显微镜确定所述至少一个超声波收发装置进行测量时所处的位置，

其中，所述调整至少一个超声波收发装置的位置，包括：

根据所述显微镜确定的位置调整所述至少一个超声波收发装置的位置。