[发明专利]一种线宽测量设备和方法

说明书

本发明公开了一种线宽测量设备和方法。该线宽测量设备至少一个超声波收发装置；位置调整装置，所述位置调整装置与所述至少一个超声波收发装置相连接，用于调整所述至少一个超声波收发装置的位置，使得所述至少一个超声波收发装置位于显示基板的布线之间；计算装置，与所述至少一个超声波收发装置相连接，用于根据所述至少一个超声波收发装置发出超声波的时间和接收到反射回的超声波的时间来计算线宽。本发明解决了现有线宽测量设备受灯光强弱影响导致测量结果准确度低的问题。

技术领域

本发明涉及测量技术领域，具体涉及一种线宽测量设备和方法。

背景技术

在平板显示行业阵列基板制造业中，线宽，即阵列基板上形成的布线等成膜图形的金属线的宽度或者图形之间的间隔距离，是用于衡量阵列基板工艺先进水平的主要指标。现有的用于测量线宽的设备，即线宽测量设备，是通过图像的灰阶变化来识别图形边界的，采用这样的线宽测量设备进行线宽测量时，测量结果会受到灯光强弱的影响，导致测量结果与实际值相差较大，影响测量结果的准确性。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种线宽测量设备和方法，以解决现有线宽测量设备受灯光强弱影响导致测量结果准确度低的问题。

一方面，本发明提供了一种线宽测量设备，至少一个超声波收发装置；位置调整装置，位置调整装置与至少一个超声波收发装置相连接，用于调整至少一个超声波收发装置的位置，使得至少一个超声波收发装置位于显示基板的布线之间；计算装置，与至少一个超声波收发装置相连接，用于根据至少一个超声波收发装置发出超声波的时间和接收到反射回的超声波的时间来计算线宽。

在一个实施例中，至少一个超声波收发装置包括第一超声波收发装置和第二超声波收发装置，第一超声波收发装置和第二超声波收发装置中的每一个包括超声波探头，位置调整装置调整第一超声波收发装置和第二超声波收发装置分别位于第一布线的两侧，计算装置用于根据第一超声波收发装置发送超声波的时间和接收到反射回的超声波的时间、第二超声波收发装置发送超声波的时间和接收到反射回的超声波的时间以及第一超声波收发装置和第二超声波收发装置之间的距离来计算第一布线的线宽。

在一个实施例中，至少一个超声波收发装置包括第一超声波收发装置，第一超声波收发装置包括第一超声波收发单元和第二超声波收发单元，第一超声波收发单元和第二超声波收发单元中的每一个包括超声波探头，并且第一超声波收发单元的超声波探头的方向和第二超声波收发单元的超声波探头的方向被设置为相反，位置调整装置调整第一超声波收发装置位于第一布线和第二布线之间，计算装置根据第一超声波收发单元发送超声波的时间和接收到反射回的超声波的时间以及第二超声波收发单元发送超声波的时间和接收到反射回的超声波的时间来计算第一布线与第二布线之间的线宽。

在一个实施例中，至少一个超声波收发装置中的每一个包括两个超声波收发单元，计算装置为与至少一个超声波收发装置通信连接的单片机，单片机选通至少一个超声波收发装置中的超声波收发单元，并统计超声波收发时间间隔，根据时间间隔输出线宽测量值。

在一个实施例中，线宽测量设备进一步包括显微镜，与位置调整装置相连接，位置调整单元与单片机通信连接，单片机与上位机通信连接，位置调整单元根据上位机的第一指令带动显微镜做左右、前后和/或升降运动，以确定至少一个超声波收发装置进行测量时所处的位置，位置调整单元还根据上位机的第二指令带动至少一个超声波收发装置做左右、前后和/或升降运动，以使至少一个超声波收发装置位于显示基板的布线之间。

在一个实施例中，位置调整装置进一步根据上位机的指令带动至少一个超声波收发装置做旋转运动，以使得至少一个超声波收发装置发出的超声波可以垂直于布线的边界。

在一个实施例中，至少一个超声波收发装置包括两个超声波收发装置，两个超声波收发装置的旋转方向相反。

在一个实施例中，至少一个超声波收发装置包括两个超声波收发装置，两个超声波收发装置的旋转角度相同。