[发明专利]基板移送装置

权利要求书

1.一种基板移送装置，其特征在于，包括：

至少一个主板，其由以基板的移送方向为基准从后方向前方的顺序配置的第一辅助板、第二辅助板、第三辅助板及第四辅助板构成；及

超声波提供部，其包括通过所述主板向所述基板提供超声波使得能够在将所述基板浮起的状态下进行移送的第一超声波提供部、第二超声波提供部、第三超声波提供部及第四超声波提供部，

所述第一辅助板与所述第一超声波提供部之间具有调节使得提供具有第一强度的超声波的第一超声波调节部，

所述第二辅助板与所述第二超声波提供部之间具有调节使得提供具有第二强度的超声波的第二超声波调节部，

所述第三辅助板与所述第三超声波提供部之间具有调节使得提供具有第三强度的超声波的第三超声波调节部，

所述第四辅助板与所述第四超声波提供部之间具有调节使得提供具有第四强度的超声波的第四超声波调节部，

通过第二辅助板提供的超声波的第二强度小于通过第一辅助板提供的超声波的第一强度，

通过第三辅助板提供的超声波的第三强度小于通过第二辅助板提供的超声波的第二强度，

通过第四辅助板提供的超声波的第四强度小于通过第三辅助板提供的超声波的第三强度。

2.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于：

沿着所述基板的移送方向对齐配置有至少两个所述主板。

3.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于：

所述主板包括用于干燥所述基板的加热板。