[发明专利]基板移送装置

说明书

本发明的基板移送装置包括由以基板的移送方向为基准配置于后方的第一辅助板及配置于前方的第二辅助板构成的主板及通过所述主板向所述基板提供超声波使得能够在将所述基板浮起的状态下进行移送的超声波提供部，可以调节使得向所述第二辅助板提供的超声波的强度小于向所述第一辅助板提供的超声波的强度。本发明的基板移送装置利用超声波浮起基板，能够利用超声波的强度差移送基板，因此能够省略移送引导部。由于本发明的基板移送装置能够去除与基板接触的部分，从而能够防止摩擦引发的碎粒。

技术领域

本发明涉及基板移送装置，尤其涉及一种在利用超声波将基板从板上浮起的状态下进行移送的基板移送装置。

背景技术

通常，平板显示器(Flat Panel Display：FPD)由大面积基板(以下称为‘基板’)制造而成。尤其，为制造所述平板显示器而移送大面积基板时，为防止所述基板向下弯曲，可以以将所述基板从板上浮起的状态移送。

能够以浮起所述基板的状态进行移送的移送装置可包括板、通过所述板向所述基板提供超声波使得能够浮起向所述板移送的基板的超声波提供部及移送从所述板浮起的所述基板的移送引导部等。

所述移送引导部可设置成从所述板的上部朝向所述板的表面且接触构成所述基板的棱角的两侧面部分。对此，可通过沿着移送方向移动接触从所述板浮起的所述基板的棱角两侧面部分的所述移送引导部以移送述基板。

然而，由于所述移送装置为所述移送引导部接触所述基板的结构，因此具有摩擦能够引起碎粒等的问题。并且，具有还另外需要用于移动所述移送引导部的部件的问题，由于需要将所述移送引导部恢复到原位，因此具有工序所需时间长的问题。

发明内容

技术问题

本发明的目的是提供一种虽然没有移送引导部但仍能够稳定地移送利用超声波浮起的基板的基板移送装置。

技术方案

为达成上述目的，本发明一个实施例的基板移送装置包括：由以基板的移送方向为基准配置于后方的第一辅助板及配置于前方的第二辅助板构成的主板及通过所述主板向所述基板提供超声波使得能够在将所述基板浮起的状态下进行移送的超声波提供部，可以调节使得向所述第二辅助板提供的超声波的强度小于向所述第一辅助板提供的超声波的强度。

根据本发明一个实施例的基板移送装置，所述超声波提供部可以由向所述第一辅助板提供具有第一强度的超声波的第一超声波提供部及向所述第二辅助板提供具有小于所述第一强度的第二强度的超声波的第二超声波提供部构成，以调节使得向所述第二辅助板提供的超声波的强度小于向所述第一辅助板提供的超声波的强度。

根据本发明另一实施例的基板移送装置，所述第一辅助板与所述超声波提供部之间可具有调节使得提供具有第一强度的超声波的第一超声波调节部，所述第二辅助板与所述超声波提供部之间可具有调节使得提供具有小于所述第一强度的第二强度的超声波的第二超声波调节部，以使得向所述第二辅助板提供的超声波的强度小于向所述第一辅助板提供的超声波的强度。

根据本发明一个实施例的基板移送装置，可沿着所述基板的移送方向对齐配置有至少两个所述主板。

根据本发明一个实施例的基板移送装置，所述主板可包括用于干燥所述基板的加热板。

技术效果

根据上述本发明的基板移送装置，利用超声波浮起基板，并且能够利用超声波的强度差移送基板。因此，本发明的基板移送装置能够省略移送引导部。

因此本发明的基板移送装置能够去除与基板接触的部分，从而能够防止摩擦引发的碎粒。并且，由于能够利用超声波浮起基板并移送，因此能够去除用于移送基板的部件，并且能够省略复位移送用部件的工序，因此能够缩短工序时间。

附图说明