[发明专利]一种制造有机发光显示面板的基板及蒸镀装置有效
| 申请号： | 201710674503.0 | 申请日： | 2017-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN107507915B | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 余威 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/00 | 分类号： | H01L51/00;H01L51/52;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制造 有机 发光 显示 面板 装置 | ||
1.一种制造有机发光显示面板的基板，其特征在于，包括：
衬底；
多个间隔设置的待成膜区域，位于所述衬底上，所述待成膜区域用于形成有机发光层；
多个第一间隔子，位于所述衬底上，且所述第一间隔子设置在所述待成膜区域的间隙处；
多个第二间隔子，位于所述衬底上，且所述第二间隔子设置在所述待成膜区域的周缘，所述第二间隔子的材料包括光阻和磁性高分子微球。
2.根据权利要求1所述的制造有机发光显示面板的基板，其特征在于，所述磁性高分子微球为磁性聚丙烯醛类微球。
3.根据权利要求1所述的制造有机发光显示面板的基板，其特征在于，所述第一间隔子的材料与所述第二间隔子的材料相同。
4.根据权利要求1所述的制造有机发光显示面板的基板，其特征在于，所述第一间隔子和所述第二间隔子是通过同一制程工艺制得的。
5.根据权利要求1所述的制造有机发光显示面板的基板，其特征在于，所述第二间隔子的高度和所述第一间隔子的高度相等。
6.根据权利要求1所述的制造有机发光显示面板的基板，其特征在于，所述磁性高分子微球的粒径范围为30nm～100nm。
7.根据权利要求1所述的制造有机发光显示面板的基板，其特征在于，所述第二间隔子的数量与所述待成膜区域的数量一致。
8.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置用于对放置于掩膜板上的基板进行蒸镀处理，包括：
蒸镀源，用于提供有机发光材料；
掩膜板，设置有多个用于蒸镀的通孔；以及
基板，包括：
衬底；
多个间隔设置的待成膜区域，位于所述衬底上，所述待成膜区域用于形成有机发光层；
多个第一间隔子，位于所述衬底和所述掩膜板之间，且所述第一间隔子设置在所述待成膜区域的间隙处；
多个第二间隔子，位于所述衬底和所述掩膜板之间，且所述第二间隔子设置在所述待成膜区域的周缘，所述第二间隔子的材料包括光阻和磁性高分子微球。
9.根据权利要求8所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一间隔子的材料与所述第二间隔子的材料相同。
10.根据权利要求8所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第二间隔子的高度和所述第一间隔子的高度相等。
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