[发明专利]一种制造有机发光显示面板的基板及蒸镀装置

说明书

本发明提供一种制造有机发光显示面板的基板及蒸镀装置，该基板包括：多个间隔设置的待成膜区域，位于所述衬底上，所述待成膜区域用于形成有机发光层；多个第一间隔子，位于所述衬底上，且所述第一间隔子设置在所述待成膜区域的间隙处；多个第二间隔子，位于所述衬底上，所述第二间隔子设置在所述待成膜区域的周缘，所述第二间隔子的材料包括光阻和磁性高分子微球。本发明的制造有机发光显示面板的基板及蒸镀装置，能够避免蒸镀材扩散至其他颜色上造成混色。

【技术领域】

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种制造有机发光显示面板的基板及蒸镀装置。

【背景技术】

由于OLED显示器相对于液晶显示器有自发光、响应快、视角广、色彩饱和等优点，被广泛地应用。OLED显示器是在OLED基板上制作有机发光薄膜，其中有机发光薄膜夹在在阴极和阳极之间，通过给阴极和阳极施加电压，使有机发光薄膜发光。

OLED的有机发光薄膜的制作过程是利用蒸镀设备，将多层薄膜相继沉积在基板上而形成。OLED蒸镀技术是利用一蒸发源，蒸发源内部充填OLED材料，在真空环境下蒸发源加热使材料升华或气化，再透过掩膜板蒸镀于基板上，图1中虚线给出OLED材料的流向。如图1所示，蒸镀过程中蒸发源在最下方，基板11位于掩膜板21上方，掩膜板21上设置有便于蒸镀的通孔211，基板11上设置有间隙子13，如图2所示，且间隙子13设置在待蒸镀区域12的间隙处，通常基板11与掩膜板21之间的间隙越小，阴影效应越弱。但是由于间隙子13有一定的高度，使得基板11与掩膜板21之间的间隙无法进一步减小，对于高分辨率的基板来说，会使蒸镀材会在一定程度上扩散至其他颜色上，造成混色。

因此，有必要提供一种制造有机发光显示面板的基板及蒸镀装置，以解决现有技术所存在的问题。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种制造有机发光显示面板的基板及蒸镀装置，能够避免蒸镀材扩散至其他颜色上造成混色。

为解决上述技术问题，本发明提供一种制造有机发光显示面板的基板，其包括：

衬底；

多个间隔设置的待成膜区域，位于所述衬底上，所述待成膜区域用于形成有机发光层；

多个第一间隔子，位于所述衬底上，且所述第一间隔子设置在所述待成膜区域的间隙处；

多个第二间隔子，位于所述衬底上，所述第二间隔子设置在所述待成膜区域的周缘，所述第二间隔子的材料包括光阻和磁性高分子微球。

在本发明的制造有机发光显示面板的基板中，所述磁性高分子微球为磁性聚丙烯醛类微球。

在本发明的制造有机发光显示面板的基板中，所述第一间隔子的材料与所述第二间隔子的材料相同。

在本发明的制造有机发光显示面板的基板中，所述第一间隔子和所述第二间隔子是通过同一制程工艺制得的。

在本发明的制造有机发光显示面板的基板中，所述第二间隔子的高度和所述第一间隔子的高度相等。

在本发明的制造有机发光显示面板的基板中，所述磁性高分子微球的粒径范围为30nm～100nm。

在本发明的制造有机发光显示面板的基板中，所述第二间隔子的数量与所述待成膜区域的数量一致。

本发明还提供一种蒸镀装置，所述蒸镀装置用于对放置于掩膜板上的基板进行蒸镀处理，其包括：

蒸镀源，用于提供有机发光材料；

掩膜板，设置有多个用于蒸镀的通孔；以及

基板，包括：

衬底；