[发明专利]微传感器

权利要求书

1.一种微传感器，用于感测气体，其特征在于，包括：

基板；

感测物质，形成在所述基板上；

加热器电极，设置在所述基板上，以加热所述感测物质；

传感器电极，形成到所述基板上，当气体吸附在由所述加热器电极加热的所述感测物质的顶部时，感测电性能的变化；以及

电阻器，包括至少两个电阻，形成到所述基板上，电连接到所述传感器电极，且

取决于所述感测物质，通过打线接合至少两个所述电阻或通过断开先前连接的至少两个所述电阻中不必要的电阻来调节所述电阻器的电阻值。

2.根据权利要求1所述的微传感器，其特征在于，至少两个所述电阻中的至少两个的电阻值不同。

3.根据权利要求1所述的微传感器，其特征在于，所述电阻器包括第一电阻垫、第二电阻垫、第三电阻垫及第一电阻，

所述第一电阻垫连接到所述传感器电极，

所述第二电阻垫与所述第三电阻垫中的至少一个包括焊垫电极部与接合部，所述焊垫电极部的至少一部分连接到所述第一电阻，所述接合部连接到所述焊垫电极部，形成到除所述第一电阻以外的部分，

所述焊垫电极部跨及所述第一电阻而与所述第一电阻接触，以便与所述第一电阻的两端接触。

4.根据权利要求3所述的微传感器，其特征在于，所述第一电阻配置到所述焊垫电极部的上部。

5.根据权利要求3所述的微传感器，其特征在于，所述第一电阻由NiCr、AgMn、CuNi、Ta、硅化钽、碳中的一种形成。

6.根据权利要求1所述的微传感器，其特征在于，所述电阻器包括第一电阻垫、第二电阻垫、第三电阻垫、第四电阻垫、第一电阻及第二电阻，

所述第一电阻垫连接到所述传感器电极，

在所述第一电阻的一侧连接所述第一电阻垫，

在所述第一电阻的另一侧连接所述第二电阻垫，

在所述第二电阻的一侧连接所述第三电阻垫，

在所述第二电阻的另一侧连接所述第四电阻垫。

7.根据权利要求1所述的微传感器，其特征在于，所述电阻器包括第一电阻垫、第二电阻垫、第三电阻垫、第一电阻及第二电阻，

所述第一电阻垫连接到所述传感器电极的第一传感器电极垫，

所述第二电阻垫或所述第三电阻垫连接到所述传感器电极的第二传感器电极垫，

在所述第一电阻的一侧连接所述第一电阻垫，

在所述第一电阻的另一侧连接所述第二电阻垫，

在所述第二电阻的一侧连接所述第一电阻垫，

在所述第二电阻的另一侧连接所述第三电阻垫。

8.根据权利要求1所述的微传感器，其特征在于，所述电阻器包括第一电阻垫、第二电阻垫、第一电阻及第二电阻，

所述第一电阻垫连接到所述传感器电极，

在所述第一电阻的一侧连接所述第一电阻垫，

在所述第一电阻的另一侧连接所述第二电阻垫，

在所述第二电阻的一侧连接所述第一电阻垫，

在所述第二电阻的另一侧连接所述第二电阻垫。

9.根据权利要求1所述的微传感器，其特征在于，所述电阻器包括第一电阻垫、第二电阻垫、第三电阻垫、第一电阻及第二电阻，

所述第一电阻垫连接到所述传感器电极，

在所述第一电阻的一侧连接所述第一电阻垫，

在所述第一电阻的另一侧连接所述第二电阻垫，

在所述第二电阻的一侧连接所述第一电阻垫，

在所述第二电阻的另一侧连接所述第三电阻垫。