[发明专利]微传感器

说明书

本发明涉及一种微传感器，尤其涉及一种连接到传感器电极的电阻器包括至少两个以上的电阻而可根据感测物质改变电阻器的电阻值的微传感器。

技术领域

本发明涉及一种微传感器，尤其涉及一种连接到传感器电极的电阻器包括至少两个以上的电阻的微传感器。

背景技术

最近，随着对环境的关注日益增加而需开发一种可在短时间内获得各种精确的信息的小型传感器。尤其，为了居住空间的舒适化与应对有害产业环境、管理饮食、食品的生产制程等，一直以来不断进行实现用以容易地测定相关气体的浓度的气体传感器的微阵列传感器的小型化、高精确化、低价化的努力。

现有的气体传感器从以往的陶瓷烧结或厚膜形态的构造逐渐发展为应用半导体制程技术的微机电系统(Micro Electro Mechanical System，MEMS)形态的微气体传感器。

在测定方法方面而言，在现有的气体传感器中使用最广泛的方法为如下方法：当气体吸附到传感器的感测物质时，测定所述传感器的电性能的变化。此种方法通常将如SnO₂的金属氧化物用作感测物质，测定因测定目标气体的浓度引起的导电率的变化，具有测定方法相对简单的优点。此时，金属氧化物感测物质在以高温加热而进行动作时，其测定值的变化更明显。因此，为了快速且准确地测定气体浓度，需准确地调节温度。另外，在进行测定时，通过高温加热而强制性地去除已吸附在感测物质的气体类或水分来将感测物质恢复(reset、recovery)到初始状态，之后测定气体浓度。

通常，在气体传感器的情况下，为了将气体传感器封装体化而应用到信息技术(Information Technology，IT)设备，需将模拟输出(电阻输出)转换成数字输出(电压输出)方式。为此，需配置与气体传感器的传感物质的电阻值相似或相同的电阻而在传感物质端将电阻转换成电压。然而，传感物质的基本物质的电阻值随温度而发生变化，故而初始电阻值不固定，因此产生传感效率下降的问题。

为了解决这种问题，在韩国公开专利公报第2015-0031709号及韩国公开专利公报第2015-0112224号中，揭示一种在气体传感器封装体具备如负温度系数热敏电阻(Negative Temperature Coefficient，NTC)或固定电阻的输出变更部的气体传感器封装体。

另一方面，根据传感物质而电阻也改变。因此，需根据传感物质将输出变更部的电阻设为不同的值。然而，以往的传感器在输出变更部具备固定电阻，因此存在无法共用传感器封装体的问题。

另外，以往的传感器在输出变更部应用NTC或电阻元件，因此存在传感器的体积变大的问题。

[现有技术文献]

[专利文献]

(专利文献1)韩国公开专利公报第2015-0031709号

(专利文献2)韩国公开专利公报第2015-0112224号

(专利文献3)韩国公开专利公报第2009-0064693号

发明内容

[发明欲解决的课题]

本发明是为了解决如上所述的问题而提出，其目的在于提供一种可将各种感测物质应用到传感器的微传感器。

[解决课题的手段]

用以达成上述目的的本发明的微传感器的特征在于包括：基板；传感器电极，形成到所述基板上；以及电阻器，形成到所述基板上，电连接到所述传感器电极；且所述电阻器包括至少两个以上的电阻。

所述电阻中的至少两个的电阻值可不同。