[发明专利]线栅组件、起偏照明装置及光配向设备在审

专利信息
申请号: 201710681562.0 申请日: 2017-08-10
公开(公告)号: CN109387898A 公开(公告)日: 2019-02-26
发明(设计)人: 朱树存;赵灿武 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G02B5/30 分类号: G02B5/30;G02F1/1337
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 线栅偏振元件 线栅 光配向设备 拼接缝隙 线状光源 照明装置 拼接处 基底 照度均匀性 非偏振光 排列方向 偏振元件 组件包括 消光比 偏振 拼接 入射 相抵 泄露 照射
【权利要求书】:

1.一种线栅组件,用于对来自线状光源的光进行偏振,其特征在于,所述线栅组件包括多个线栅偏振元件,每个所述线栅偏振元件包括基底和线栅;

所述线栅位于所述基底的表面;

多个所述线栅偏振元件沿着所述线状光源的长度方向以互补的形式并排拼接,并且拼接处形成有拼接缝隙;

相邻两个所述线栅偏振元件的线栅在拼接处具有重叠的部分,所述重叠的部分能够对所述线状光源入射进所述拼接缝隙的光进行偏振。

2.如权利要求1所述的线栅组件,其特征在于,所述拼接缝隙的隙宽优选为2mm~5mm。

3.如权利要求1所述的线栅组件,其特征在于,每个所述线栅偏振元件均为双面线栅元件,且双面的线栅的栅距均相同。

4.如权利要求3所述的线栅组件,其特征在于,相邻两个所述线栅偏振元件之间以完全互补的形式进行拼接。

5.如权利要求4所述的线栅组件,其特征在于,相邻两个所述线栅偏振元件中一个所述线栅偏振元件为凸形结构,则另一个所述线栅偏振元件为倒凸形结构。

6.如权利要求5所述的线栅组件,其特征在于,所述凸形结构和倒凸形结构的台阶高度均为所述线栅偏振元件的厚度的一半。

7.如权利要求6所述的线栅组件,其特征在于,所述凸形结构的台阶面宽度需大于:所述拼接缝隙的隙宽+所述基底的厚度+2*所述线栅偏振元件的加工误差和缺陷影响宽度。

8.如权利要求1所述的线栅组件,其特征在于,所述线栅偏振元件包括第一线栅偏振元件和第二线栅偏振元件,多个所述第一线栅偏振元件沿着所述线状光源的长度方向并排拼接,相邻两个所述第一线栅偏振元件进行拼接的拼接面均呈台阶形状,所述第二线栅偏振元件嵌入在相邻两个所述第一线栅偏振元件的拼接面之间。

9.如权利要求8所述的线栅组件,其特征在于,所述拼接面包括两级台阶,相邻两个所述第一线栅偏振元件的拼接面组合形成所述拼接缝隙及拼接缝隙下方的“凸”形空间,所述第二线栅偏振元件为凸形结构,所述凸形结构嵌入在所述“凸”形空间内。

10.如权利要求9所述的线栅组件,其特征在于,所述第一线栅偏振元件和第二线栅偏振元件均为单面线栅元件。

11.如权利要求9所述的线栅组件,其特征在于,所述拼接缝隙与所述第二线栅偏振元件在垂向上有空隙。

12.如权利要求11所述的线栅组件,其特征在于,所述空隙的垂向高度为1mm~2mm。

13.如权利要求1所述的线栅组件,其特征在于,所述第二线栅偏振元件的栅面宽度大于3倍所述拼接缝隙的隙宽。

14.如权利要求13所述的线栅组件,其特征在于,所述第二线栅偏振元件的栅面宽度还需大于:拼接缝隙的隙宽+2*(所述第二线栅偏振元件与第一线栅偏振元件的线栅面高度差+第二线栅偏振元件自身的加工误差和缺陷影响宽度)。

15.如权利要求1所述的线栅组件,其特征在于,所述拼接缝隙中通入有冷却保护气体。

16.一种起偏照明装置,其特征在于,所述起偏照明装置包括照明组件和如权利要求1-15中任一项所述的线栅组件;

所述照明组件包括一线状光源;

所述线状光源发出光并通过所述线栅组件,以形成偏振光。

17.一种光配向设备,其特征在于,采用如权利要求16所述的起偏照明装置提供用于光配向的偏振光。

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