[发明专利]一种喷涂式刻蚀槽在审

申请号：	201710690141.4	申请日：	2017-08-14
公开（公告）号：	CN107301969A	公开（公告）日：	2017-10-27
发明（设计）人：	徐峰;陈刚;谭飞;徐光;葛新国	申请（专利权）人：	通威太阳能（安徽）有限公司
主分类号：	H01L21/67	分类号：	H01L21/67;C30B33/10
代理公司：	昆明合众智信知识产权事务所53113	代理人：	张玺
地址：	230088 安徽省合***	国省代码：	安徽;34
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摘要：
搜索关键词：	一种喷涂刻蚀
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【权利要求书】：

1.一种喷涂式刻蚀槽，包括刻蚀槽(1)、水泵(2)以及喷嘴(9)，其特征在于：所述刻蚀槽(1)的内侧壁上对称设置有固定板(3)，所述固定板(3)中开设有滑槽(4)，所述滑槽(4)内活动设置有滑块(5)，所述滑块(5)中开设有安装槽(6)，所述安装槽(6)内侧壁上固定有定轴(7)，所述定轴(7)上活动连接有安装柱(8)；

所述喷嘴(9)固定于安装柱(8)上，且喷嘴(9)通过管道与水泵(2)连通，所述刻蚀槽(1)侧壁上固定有固定环(10)，所述安装柱(8)上固定有移动环(11)，所述固定环(10)与移动环(11)通过连接线(12)相连；

所述刻蚀槽(1)安装有固定板(3)的内侧壁上水平设置有滚轮(13)。

2.根据权利要求1所述的一种喷涂式刻蚀槽，其特征在于：每个所述喷嘴(9)对应连接于一个水泵(2)上。

3.根据权利要求1所述的一种喷涂式刻蚀槽，其特征在于：所述水泵(2)设置于支撑板(21)上，所述支撑板(21)固定于刻蚀槽(7)外侧壁上。

4.根据权利要求1所述的一种喷涂式刻蚀槽，其特征在于：所述滚轮(13)上固定套设有限位轮(15)。

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