[发明专利]一种玻璃减薄蚀刻液及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201710692584.7 申请日: 2017-08-14
公开(公告)号: CN107235641A 公开(公告)日: 2017-10-10
发明(设计)人: 付争兵;凡威震;许鑫鑫;韦悦;蒋纯金;杜军;丁瑜;王锋 申请(专利权)人: 湖北工程学院
主分类号: C03C15/00 分类号: C03C15/00
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 代理人: 蔡蓉
地址: 432000 *** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 玻璃 蚀刻 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种玻璃减薄蚀刻液,其特征在于,所述玻璃减薄蚀刻液的原料按重量份数计包括:

氢氟酸10~15份、氟化铵5~10份、混合酸液25~60份、EDTA或EDTA盐0.5~5份、及表面活性剂0.1~0.5份。

2.根据权利要求1所述的玻璃减薄蚀刻液,其特征在于,所述表面活性剂为阴离子型表面活性剂。

3.根据权利要求2所述的玻璃减薄蚀刻液,其特征在于,所述阴离子型表面活性剂选自烷基苯磺酸钠、脂肪醇羟乙基磺酸钠、十二烷基磷酸酯三乙醇胺和十二烷基硫酸铵中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的玻璃减薄蚀刻液,其特征在于,所述混合酸液包括H2SO4、HNO3和H3PO4

5.根据权利要求4所述的玻璃减薄蚀刻液,其特征在于,按重量份数计,所述H2SO4为10~20份,所述HNO3为10~20份,所述H3PO4为5~20份。

6.根据权利要求1所述的玻璃减薄蚀刻液,其特征在于,所述混合酸液按重量份数计包括H2SO4 10~15份、HNO3 5~15份、H3PO4 5~20份和有机酸5~10份。

7.根据权利要求6所述的玻璃减薄蚀刻液,其特征在于,所述有机酸选自柠檬酸、酒石酸、草酸、甲酸、乙酸、抗坏血酸、水杨酸、山梨酸、苯甲酸、甲磺酸、对甲苯磺酸和顺丁稀二酸中的至少一种。

8.根据权利要求1所述的玻璃减薄蚀刻液,其特征在于,所述EDTA盐选自EDTA二钠、EDTA四钠、EDTA二钾、和EDTA四钾中的至少一种。

9.一种如权利要求1~8任一项所述的玻璃减薄蚀刻液的制备方法,其特征在于,其包括:将所述混合酸液与水混合后,再与所述氟化铵、所述EDTA或EDTA盐、所述表面活性剂、以及所述氢氟酸混合。

10.根据权利要求9所述的玻璃减薄蚀刻液的制备方法,其特征在于,在将所述混合酸液与水混合后,还包括将所得溶液的温度保持在40~50℃。

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