[发明专利]一种玻璃减薄蚀刻液及其制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及玻璃减薄工艺领域，具体而言，涉及一种玻璃减薄蚀刻液及其制备方法。

背景技术

随着电子显示设备朝着轻薄化方向的发展，显示玻璃屏的厚度已从1996年的1.1毫米降至0.5毫米以下。手机等便携式设备中应用的玻璃厚度更下降至0.3毫米以下。超薄化的玻璃由于制造困难而且昂贵，并在后续应用处理工序中易破碎，所以对玻璃减薄处理，即利用氢氟酸为主要成分的玻璃减薄蚀刻液对组装好的模组进行薄化处理，仍是目前主流的处理方式。

常见的玻璃减薄蚀刻液的基本配方为：15～30份HF、10～20份H₂SO₄、3～10份HNO₃、3～10份H₃PO₄。其中起反应作用的是氢氟酸，反应过程如下：

SiO₂+4HF→SiF₄+2H₂O；

3SiF₄+3H₂O→H₂SiO₃+2H₂SiF₆。

然而，这种玻璃减薄蚀刻液在蚀刻过程，蚀刻效率低，且会产生大量的难溶性副产物，这些难溶性副产物容易附着在玻璃基体表面，影响玻璃表面的光洁度。此外，如果玻璃减薄前的表面平整度欠佳，利用这种玻璃减薄蚀刻液再进行蚀刻，则会导致减薄后的玻璃表面凹凸不平，难以进一步应用到电子显示设备上。

发明内容

本发明的第一目的在于提供一种玻璃减薄蚀刻液，利用该玻璃减薄蚀刻液，能有效提高玻璃减薄速率，降低玻璃表面粗糙度，同时减少玻璃表面附着的沉淀物，提高玻璃表面的光洁度。

本发明的第二目的在于提供一种玻璃减薄蚀刻液的制备方法，通过该方法配置得到的玻璃减薄蚀刻液，蚀刻效率高、成本低、且对环境污染小。

为了实现本发明的上述目的，特采用以下技术方案：

一种玻璃减薄蚀刻液，该玻璃减薄蚀刻液的原料按重量份数计包括：

氢氟酸10～15份、氟化铵5～10份、混合酸液25～60份、EDTA或EDTA盐0.5～5份、及表面活性剂0.1～0.5份。

一种玻璃减薄蚀刻液的制备方法，其包括：将混合酸液与水混合后，再与氟化铵、EDTA或EDTA盐、表面活性剂、以及氢氟酸混合。

与现有技术相比，本发明的有益效果例如包括：

本公开内容提供的这种玻璃减薄蚀刻液，起反应作用的是氢氟酸，在使用过程中氢氟酸的含量会不断降低；加入混合酸液可增加体系氢离子浓度，提高蚀刻效率，同时尽可能的溶解金属氟化物沉淀；EDTA或EDTA盐可以与溶液中的金属离子形成络合物，增大金属化合物的溶解度，避免其附着在玻璃表面，影响玻璃表面的光滑度。氟化铵作为缓冲溶液使体系中氢氟酸的浓度保持在适宜的水平，从而保证相对均匀的刻蚀速率。表面活性剂的加入，能够降低玻璃的表面张力，使玻璃减薄蚀刻液容易浸润玻璃表面，从而提高蚀刻速率，同时也能减少玻璃减薄过程中的放大效应，增大玻璃表面的平整度。

具体实施方式

下面将结合实施例对本发明的实施方案进行详细描述，但是本领域技术人员将会理解，下列实施例仅用于说明本发明，而不应视为限制本发明的范围。实施例中未注明具体条件者，按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市售购买获得的常规产品。

本实施方式提供一种玻璃减薄蚀刻液，这种玻璃减薄蚀刻液的原料按重量份数计包括：

氢氟酸10～15份、氟化铵5～10份、混合酸液25～60份、EDTA或EDTA盐0.5～5份、及表面活性剂0.1～0.5份。

进一步的，按重量份数计，氢氟酸11～14份、氟化铵6～9份、混合酸液30～50份、EDTA或EDTA盐1～4份、及表面活性剂0.2～0.4份。

进一步的，按重量份数计，氢氟酸12～13份、氟化铵7～8份、混合酸液35～45份、EDTA或EDTA盐2～3份、及表面活性剂0.2～0.4份。

进一步的，按重量份数计，氢氟酸12～13份、氟化铵7～8份、混合酸液35～45份、EDTA或EDTA盐2～3份、及表面活性剂0.2～0.4份。

进一步的，按重量份数计，氢氟酸12.5份、氟化铵7.5份、混合酸液40份、EDTA或EDTA盐2.5份、及表面活性剂0.3份。