[发明专利]转移装置及微型发光二极管的转移方法

权利要求书

1.一种转移装置，其特征在于，包括移动部及与所述移动部活动连接的转移头，所述转移头包括外壳、填充于所述外壳内的磁流变液，及设于所述外壳上的电磁装置，所述电磁装置产生磁场，所述磁流变液位于所述磁场内，所述外壳包括一出液孔，所述磁流变液从所述出液孔流出。

2.如权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述电磁装置包括电磁铁或者电磁线圈，及与所述电磁铁或者电磁线圈进行电连接的控制单元，通过所述控制单元控制所述电磁铁或电磁线圈磁场的产生与消除，并控制所述电磁铁或电磁线圈产生磁场的大小及时间。

3.如权利要求2所述的转移装置，其特征在于，所述电磁铁或所述电磁线圈设于所述外壳的内部或外部。

4.如权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述磁流变液自然状态下为液态，在所述磁场作用下为固态。

5.如权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述转移头有多个，多个所述转移头间隔设置。

6.一种微型发光二极管转移方法，其特征在于，包括：

提供如权利要求1-5任一项所述的转移装置；

将所述转移装置的转移头移动至第一基板上的微型发光二极管处，并将所述转移头的出液孔靠近所述微型发光二极管；

控制液态的所述磁流变液从所述出液孔流出并包覆所述微型发光二极管；

控制所述电磁装置产生磁场，使所述磁流变液由液态变为固态，以使所述微型发光二极管与所述转移头通过所述磁流变液进行粘连；

移动所述微型发光二极管至第二基板；

消除所述电磁装置产生的磁场，所述磁流变液由固态变为液态，使所述微型发光二极管与所述转移头分离。

7.如权利要求6所述的微型发光二极管转移方法，其特征在于，通过与所述电磁装置电连接的控制单元控制所述电磁装置的通断电，以实现所述电磁装置的磁场的产生与消除。

8.如权利要求6所述的微型发光二极管转移方法，其特征在于，所述转移头的出液孔靠近所述第一基板上的微型发光二极管时，所述转移头的出液孔与所述第一基板上的微型发光二极管的距离为1μm-3μm。

9.如权利要求6所述的微型发光二极管转移方法，其特征在于，所述转移头为多个，多个所述转移头同时转移多个所述发光二极管。