[发明专利]转移装置及微型发光二极管的转移方法有效

专利信息
申请号: 201710704461.0 申请日: 2017-08-16
公开(公告)号: CN107527973B 公开(公告)日: 2019-05-28
发明(设计)人: 赵芬利 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L21/677
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫;熊永强
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 转移 装置 微型 发光二极管 方法
【说明书】:

发明提供一种转移装置及微型发光二极管的转移方法。在所述微型发光二极管的转移过程时,通过控制磁流变液的状态实现所述微型发光二极管与转移头之间进行物理连接,从而增加所述微型发光二极管与所述转移头之间的作用力,进而防止所述微型发光二极管转移过程中的损坏,从而降低所述微型发光二极管的转移难度。并且,通过简单的电磁装置控制所述微型发光二极管与所述转移头的连接与分离,简化所述微型发光二极管的转移操作,提高所述微型发光二极管的转移效率。

技术领域

本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种转移装置及微型发光二极管的转移方法。

背景技术

磁流变液(MRF)是一种新型智能流体材料。在磁场作用下,MRF可由液态瞬间转变为类固态,当外加磁场撤去后,MRF又能迅速的恢复到液体状态;正是由于MRF的这种独特的性质,使其广泛应用于精密加工领域。

在微型发光二极管显示(Micro LED)领域,为了制作发光二极管显示器,需要把微型发光二极管从原始衬底转移到接收基板排列成阵列,涉及巨量且微型发光二级管精确转移问题。现有技术中,一般通过静电吸附的方式将所述微型发光二极管吸附至转移头上,并转移至接收基板上。但是,静电吸附的吸附力较小,使得转移过程中容易损坏所述微型发光二极管,从而转移难度较大。并且,静电吸附的效率较低。

发明内容

本发明的提供一种转移装置及微型发光二极管的转移方法,降低所述微型发光二极管转移难度,提高转移效率。

所述转移装置包括包括移动部及与所述移动部活动连接的转移头,所述转移头包括外壳、填充于所述外壳内的磁流变液,及设于所述外壳上的电磁装置,所述电磁装置产生磁场,所述磁流变液位于所述磁场内,所述外壳包括一出液孔,所述磁流变液从所述出液孔流出。

其中,所述电磁装置包括电磁铁或者电磁线圈,及与所述电磁铁或者电磁线圈进行电连接的控制单元,通过所述控制单元控制所述电磁铁或电磁线圈磁场的产生与消除,并控制所述电磁铁或电磁线圈产生磁场的大小及时间。

其中,所述电磁铁或所述电磁线圈设于所述外壳的内部或外部。

其中,所述电磁铁或所述电磁线圈为所述外壳。

其中,所述磁流变液自然状态下为液态,在所述磁场作用下为固态。

其中,所述转移头有多个,多个所述转移头间隔设置。

本发明还提供一种微型发光二极管转移方法,包括:

提供上述的转移装置;

将所述转移装置的转移头移动至第一基板上的微型发光二极管处,并将所述转移头的出液孔靠近所述微型发光二极管;控制液态的所述磁流变液从所述出液孔流出并包覆所述微型发光二极管;

控制液态的控制所述电磁装置产生磁场,使所述磁流变液由液态变为固态,所述微型发光二极管与所述转移头通过所述磁流变液进行粘连;

移动所述微型发光二极管至第二基板;

消除所述电磁装置产生的磁场,所述磁流变液由固态变为液态,以使所述微型发光二极管与所述转移头分离。

其中,通过与所述电磁装置电连接的控制单元控制所述电磁装置的通断电,以实现所述电磁装置的磁场的产生与消除。

其中,所述转移头的出液孔靠近所述第一基板上的微型发光二极管时,所述转移头的出液孔与所述第一基板上的微型发光二极管的距离为1μm-3μm。

其中,所述转移头为多个,多个所述转移头同时转移多个所述发光二极管。

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