[发明专利]基于小波变换模极大值的白光反射动态测量薄膜厚度方法

权利要求书

1.基于小波变换模极大值的白光反射动态测量薄膜厚度方法，其特征在于，包括如下步骤：

1)令白光的光源垂直地入射待测薄膜，以获取WLRS原始信号；

2)将步骤1所得的WLRS原始信号进行二进小波变换；

3)寻找各尺度上所有小波系数的模极大值点；

4)对步骤3)中的模极大值进行阈值处理；

5)寻找传播点，并予以筛选；

6)重构小波系数，恢复WLRS信号；

7)对步骤5得到的去噪后的WLRS信号提取特征值，通过特征值求得待测薄膜的膜厚。

2.根据权利要求1所述的基于小波变换模极大值的白光反射动态测量薄膜厚度方法，其特征在于，所述步骤1具体为：白光由点A近垂直进入待测薄膜，在S₁和S₂表面经过数次折射及反射后，其相位发生变化；通过采集反复折射反射后的光线B₁、B₂、…、B_n，得到WLRS原始信号；设原始信号的模型为：

S(x)＝f(x)+n₁(x)×n₂(x)

其中，S(x)为含噪信号，f(x)为真实信号，n₁(x)为加性噪声，n₂(x)为乘性噪声；则信号模型可简化为：

S(x)＝f(x)+n(x)

其中，S(x)为含噪信号，f(x)为真实信号，n(x)为噪声。

3.根据权利要求1所述的基于小波变换模极大值的白光反射动态测量薄膜厚度方法，其特征在于，所述步骤2具体为：任意函数f(t)∈L²(R)的小波变换为：

其中，a为伸缩因子，b为平移因子，为基小波；将上式离散化，便得到f(t)的二进小波变换：

D[Wf(j,k)]=2-j2∫Rf(t)(2-jt-k)‾dt.]]>

4.根据权利要求1所述的基于小波变换模极大值的白光反射动态测量薄膜厚度方法，其特征在于，所述步骤3具体为：经过步骤2后，在各尺度上会产生若干个小波系数；在每一个尺度上，均会有一个最大值t_(max,j)和若干个极大值；先对这些小波系数求模，然后根据模最大值设定一个阈值，若比阈值大则保留，若比阈值小则置零，以此来求各个尺度上的模极大值|t_ij|。