[发明专利]支撑装置、光刻装置和器件制造方法

权利要求书

1.一种用于光刻装置的支撑装置，包括：

被配置为支撑物体的物体保持件；和

提取主体，在所述物体保持件径向外侧并且部分地在所述物体的外周边缘下面延伸，所述提取主体包括被配置为通过在所述提取主体与所述物体之间形成在所述支撑装置的顶面上的间隙提取流体的第一开口和第二开口，其中所述提取主体与所述物体保持件间隔开，使得所述提取主体与所述物体保持件基本机械解耦和热解耦。

2.根据权利要求1所述的支撑装置，其中所述第二开口与减压流体连通。

3.根据权利要求1所述的支撑装置，其中所述第一开口在所述物体下方被布置在所述第二开口的径向内侧并且与真空流体连通。

4.根据权利要求1所述的支撑装置，其中所述提取主体通过中间间隙与所述物体保持件基本机械解耦和热解耦。

5.根据权利要求1所述的支撑装置，其中所述提取主体通过密封非刚性地连接到所述物体保持件。

6.根据权利要求1所述的支撑装置，其中所述提取主体通过多个周向间隔的接头连接到所述物体保持件。

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的支撑装置，其中所述提取主体的内周区域与所述物体的外周区域之间的重叠的程度在从约0.5mm到约3mm的范围内。

8.根据权利要求1至6中的任一项所述的支撑装置，其中所述提取主体还包括用于控制所述提取主体的温度的热调节系统。

9.一种光刻装置，包括根据权利要求1至8中任一项所述的支撑装置。

10.一种利用光刻装置的器件制造方法，所述方法包括：

将由图案形成装置图案化的束投影到衬底上，同时利用支撑装置支撑所述衬底，

其中所述支撑装置包括：

被配置为支撑物体的物体保持件；和

提取主体，在所述物体保持件径向外侧并且部分地在所述物体的外周边缘下面延伸，所述提取主体包括被配置为通过在所述提取主体与所述物体之间形成在所述支撑装置的顶面上的间隙提取流体的第一开口和第二开口，其中所述提取主体与所述物体保持件间隔开，使得所述提取主体与所述物体保持件基本机械解耦和热解耦。