[发明专利]机械手臂

说明书

本发明公开了一种机械手臂，包含基座、推抵件、转动件、臂体以及弹性件。基座具有相互面对的两个内表面以及连接于其中一内表面的容置孔。推抵件设置于基座的容置孔，且推抵件与容置孔的孔侧壁面相接触。转动件设置于两个内表面之间并接触推抵件，且转动件藉由推抵件而枢设于基座。臂体设置于转动件上。弹性件设置于基座并可提供预压力给推抵件，而令推抵件常态推抵转动件以及容置孔的孔侧壁面。

技术领域

本发明关于一种机械手臂，特别是一种以摆动移动的方式拾取或点测物件的机械手臂。

背景技术

为了减少污染及提高产量，半导体产业常利用一个或多个机械手臂拾取并且搬运硅晶圆或电子芯片等工作件，或是利用机械手臂末端的探针进行电性测试。

现有技术广泛使用轴承与轴心的组合方式，以使臂体能以摆动移动的方式拾取或点测物件。然而，轴承的径向间隙也是其美中不足的缺失，轴承间隙经由摆臂与轴心的距离放大之后，产生的些许偏移，偶发性的会导致臂体在测试时有滑针、多针痕、行程无重复性等不良现象产生。

发明内容

鉴于以上的问题，本发明公开一种机械手臂，有助于解决轴承与轴心之间会随着机械手臂的使用时间增加而产生径向间隙的问题。

本发明公开的机械手臂包含一基座、一推抵件、一转动件、一臂体以及一弹性件。基座具有相互面对的两个内表面以及连接于该两个内表面其中之一的一容置孔。推抵件设置于基座的容置孔，且推抵件与容置孔的孔侧壁面相接触。转动件设置于两个内表面之间并接触推抵件，且转动件藉由推抵件而枢设于基座。臂体设置于转动件上。弹性件设置于基座并提供预压力给推抵件，而令推抵件常态推抵转动件以及容置孔的孔侧壁面。

本发明公开的另一种机械手臂包含一基座、两个推抵件、一转动件以及一臂体。基座具有相互面对的两个内表面以及分别连接于两个内表面的两个容置孔。两个推抵件分别接触两个容置孔的孔侧壁面，且两个容置孔的孔侧壁面以三点接触夹持方式分别将两个推抵件夹持于两个容置孔。转动件设置于两个内表面之间并接触两个推抵件，且转动件藉由两个推抵件而枢设于基座。臂体设置于转动件。

根据本发明所公开的机械手臂，取代现有轴承与轴心的组合结构，藉由推抵件将转动件枢设于基座，并且利用弹性件提供预压力以使推抵件能常态地承靠于容置孔的孔侧壁面上。当转动件偏移时，推抵件与弹性件有助于将转动件复位至偏移前的位置，以防止转动件偏移后于推抵件、转动件与基座彼此之间产生的间隙无法消除。因此，能确保转动件常态保持于默认的位置，而使臂体的摆动运动有高行程重复性的优点。

此外，也可采用推抵件与容置孔的孔侧壁面三点接触夹持的方式，以使容置孔的孔侧壁面与推抵件之间的作用力能拘束推抵件的活动方式，进而防止转动件产生偏移而能常态保持于默认的位置。藉此，臂体的摆动运动也有高行程重复性的优点。

以上的关于本发明内容的说明及以下的实施方式的说明用以示范与解释本发明的精神与原理，并且提供本发明的专利申请权利要求保护范围更进一步的解释。

附图说明

图1为根据本发明第一实施例的机械手臂的立体示意图。

图2为图1的机械手臂的分解示意图。

图3A为图1的机械手臂沿着3-3剖切线的剖面示意图。

图3B为图3A的机械手臂的局部放大图。

图4A为图1的机械手臂沿着4-4剖切线的剖面示意图。

图4B为图4A的机械手臂的局部放大图。

图5为图1的机械手臂沿着5-5剖切线的剖面示意图。

图6为图5的机械手臂的行程发生偏移的示意图。

图7为根据本发明第二实施例的机械手臂的剖面示意图。