[发明专利]紫外光复合光栅及等离子装置

权利要求书

1.一种紫外光复合光栅，其特征在于，该紫外光复合光栅包含：

一第一格栅，设有多个第一穿孔，其中该第一格栅是由一不透光材料所制成；以及

一第二格栅，对准并平行于该第一格栅，其中该第二格栅设有多个第二穿孔，所述多个第二穿孔错开所述多个第一穿孔，该第二格栅是由一滤光材料所制成，该滤光材料能够滤除波长小于180nm的第一紫外光，并能够允许波长大于或等于180nm的第二紫外光通过。

2.根据权利要求1所述的紫外光复合光栅，其特征在于，该第一格栅与该第二格栅间的一距离是大于0且小于或等于4毫米。

3.根据权利要求1所述的紫外光复合光栅，其特征在于，每一所述第一穿孔与每一所述第二穿孔的一孔径分别为3毫米至4毫米。

4.根据权利要求1所述的紫外光复合光栅，其特征在于，该滤光材料包含石英材料。

5.根据权利要求1所述的紫外光复合光栅，其特征在于，该紫外光复合光栅还包含：

至少一第三格栅，对准并平行于该第一格栅及该第二格栅，且该至少一第三格栅分别设有多个第三穿孔，其中所述多个第三穿孔错开所述多个第一穿孔或所述多个第二穿孔。

6.一种等离子装置，其特征在于，该等离子装置包含：

一真空腔体，其中该真空腔体的一顶端设有一气体入口；

一加热装置，配置以加热一半导体晶圆，且该加热装置设于该真空腔体的一底端；

一紫外光复合光栅，设于该气体入口及该加热装置之间，并平行于该加热装置的一加热面，其中该紫外光复合光栅的一垂直投影面积大于或等于该半导体晶圆的一垂直投影面积，且该紫外光复合光栅包含：一上格栅，设有多个第一穿孔；以及一下格栅，对准并平行于该上格栅，且该下格栅设有多个第二穿孔，其中所述多个第二穿孔错开所述多个第一穿孔，该上格栅及该下格栅的一者是由一不透光材料所制成，且该上格栅及该下格栅的另一者是由一滤光材料所制成，且该滤光材料能够滤除波长小于180nm的第一紫外光，并能够允许波长大于或等于180nm的第二紫外光通过；以及

一射频线圈，设于该气体入口及该紫外光复合光栅之间。

7.根据权利要求6所述的等离子装置，其特征在于，该上格栅与该下格栅间的一距离是大于0且小于或等于4毫米。

8.根据权利要求6所述的等离子装置，其特征在于，每一所述第一穿孔与每一所述第二穿孔的一孔径分别为3毫米至4毫米。

9.根据权利要求6所述的等离子装置，其特征在于，该滤光材料包含石英材料。

10.根据权利要求6所述的等离子装置，其特征在于，该紫外光复合光栅还包含：

至少一辅助格栅，对准并平行于该上格栅及该下格栅，且该至少一辅助格栅分别设有多个第三穿孔，其中所述多个第三穿孔错开所述多个第一穿孔或所述多个第二穿孔。