[发明专利]粉末堆积体的制造装置及制造方法

权利要求书

1.一种制造装置，是在靶棒表面形成粉末堆积体的光纤母材的制造装置，其特征在于，包括：

主燃烧器，一边沿所述靶棒的长度方向移动，一边生成堆积在所述靶棒的玻璃微粒子；

一对侧部燃烧器，配置在所述主燃烧器的移动范围的外侧，用于对已形成在所述靶棒表面的粉末堆积体的两端进行加热；及

遮蔽部件，用于阻止所述主燃烧器所生成的玻璃微粒子在所述靶棒中相对于由所述一对侧部燃烧器夹着的区间更靠近外侧的位置堆积在所述靶棒上。

2.根据权利要求1所述的制造装置，其特征在于，所述遮蔽部件固定在所述靶棒上。

3.根据权利要求1所述的制造装置，其特征在于，所述遮蔽部件固定在容纳所述靶棒的腔室。

4.根据权利要求1所述的制造装置，其特征在于，所述遮蔽部件是具有在所述靶棒的径向上扩展的面的板材。

5.根据权利要求4所述的制造装置，其特征在于，所述遮蔽部件包含碳制板材及石英板材的至少一者。

6.根据权利要求5所述的制造装置，其特征在于，所述遮蔽部件包含所述碳制板材及所述石英板材。

7.一种制造方法，是在靶棒表面形成粉末堆积体的光纤母材的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

使生成玻璃微粒子的主燃烧器沿所述靶棒的长度方向移动而使所述玻璃微粒子堆积在所述靶棒；及

通过配置在所述主燃烧器的移动范围的外侧的一对侧部燃烧器，对已形成在所述靶棒表面的粉末堆积体的两端进行加热；且

还通过遮蔽部件阻止所述玻璃微粒子在所述靶棒中相对于由所述一对侧部燃烧器夹着的区间更靠近外侧的位置堆积在所述靶棒上。

8.一种遮蔽部件，用于在靶棒表面形成粉末堆积体的光纤母材的制造装置中，配置在靶棒上由一对侧部燃烧器夹着的区间的外侧，阻止主燃烧器所生成的玻璃微粒子在所述靶棒中相对于由所述一对侧部燃烧器夹着的区间更靠近外侧堆积在所述靶棒，所述主燃烧器生成堆积在所述靶棒的玻璃微粒子，所述一对侧部燃烧器配置在所述主燃烧器的移动范围的外侧，对已形成在所述靶棒表面的粉末堆积体的两端进行加热。