[发明专利]粉末堆积体的制造装置及制造方法在审
申请号: | 201710712733.1 | 申请日: | 2017-08-18 |
公开(公告)号: | CN107759071A | 公开(公告)日: | 2018-03-06 |
发明(设计)人: | 柏木佑介;乙坂哲也 | 申请(专利权)人: | 信越化学工业株式会社 |
主分类号: | C03B37/018 | 分类号: | C03B37/018 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司44223 | 代理人: | 江耀纯 |
地址: | 日本东京市千*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 粉末 堆积 制造 装置 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种粉末堆积体的制造装置及制造方法。
背景技术
在光纤用母材的制造过程中形成粉末堆积体时,有如下技术:在堆积体的两端附近配置侧部燃烧器而对该部分的粉末堆积体进行烧结,由此防止粉末堆积体的一部分剥离的粉末剥离现象(参照专利文献1)。
[专利文献1]日本专利特开2003-165738号公报
有时在靶棒中相对于由侧部燃烧器夹着的区间更靠近外侧的区域形成低密度粉末堆积体,是粉末剥离现象的原因。
发明内容
[解决问题的手段]
根据本发明的第一方面,提供一种制造装置,是在靶棒表面形成粉末堆积体的光纤母材的制造装置,包括:主燃烧器,一边沿靶棒的长度方向移动,一边生成堆积在所述靶棒的玻璃微粒子;一对侧部燃烧器,配置在主燃烧器的移动范围的外侧,用于对已形成在靶棒表面的粉末堆积体的两端进行加热;及遮蔽部件,用于阻止所述主燃烧器所生成的玻璃微粒子在所述靶棒中相对于由所述一对侧部燃烧器夹着的区间更靠近外侧的位置堆积在靶棒上。
根据本发明的第二方面,提供一种制造方法,是在靶棒表面形成粉末堆积体的光纤母材的制造方法,包括以下步骤:使生成玻璃微粒子的主燃烧器沿靶棒的长度方向移动而使玻璃微粒子堆积在靶棒;及通过配置在主燃烧器的移动范围的外侧的一对侧部燃烧器,对已形成在靶棒表面的粉末堆积体的两端进行加热;且还通过遮蔽部件阻止玻璃微粒子在靶棒中相对于由一对侧部燃烧器夹着的区间更靠近外侧的位置堆积在靶棒上。
根据本发明的第三方面,提供一种遮蔽部件,用于在靶棒表面形成粉末堆积体的光纤母材的制造装置中,配置在靶棒上由一对侧部燃烧器夹着的区间的外侧,阻止主燃烧器所生成的玻璃微粒子在靶棒中相对于由一对侧部燃烧器夹着的区间更靠近外侧堆积在靶棒,所述主燃烧器生成堆积在靶棒的玻璃微粒子,所述一对侧部燃烧器配置在主燃烧器的移动范围的外侧,对已形成在靶棒表面的粉末堆积体的两端进行加热。
所述发明的上述概要内容并未列举出本发明的所有可能特征。这些特征的其它组合也可构成发明。
附图说明
图1是制造装置101的垂直剖视图。
图2是包含碳制板材91的组装体的侧视图。
图3是包含石英制板材92的组装体的侧视图。
图4是包含复合材板93的组装体的侧视图。
图5是说明遮蔽部件组装体201的固定构造的侧视图。
图6是说明遮蔽部件组装体202的固定构造的侧视图。
图7是说明遮蔽部件组装体203的固定构造的侧视图。
图8是另一制造装置102的垂直剖视图。
图9是说明遮蔽部件组装体204的固定构造的侧视图。
图10是另一制造装置103的垂直剖视图。
[符号说明]
10 腔室
11 排气口
20 旋转机构
30 夹头
40 侧部燃烧器
50 粉末堆积体
51 低密度粉末堆积体
60 靶棒
61、98贯通孔
70 主燃烧器
71 堆积用燃烧器
80、90遮蔽部件
81、82半圆板材
83 槽
84 紧固件
85 脚部
89 螺母
91 碳制板材
92 石英制板材
93 复合材板
94 通孔
95 支架
96 螺钉
97 通孔
99 螺栓
101、102、103制造装置
201、202、203、204遮蔽部件组装体
具体实施方式
以下,通过发明的具体实施方式对本发明进行说明,但下述具体实施方式并不限定发明的保护范围。另外,并不限定具体实施方式中所说明的特征的组合全部是发明的解决手段所必需的。
图1是表示制造粉末堆积体的制造装置101的一具体实例的垂直剖视图。制造装置101包括腔室10、旋转机构20、夹头30、侧部燃烧器40、及主燃烧器70。腔室10具有排气口11、及未图示的供气孔,连续地供给氮气等惰性气体,且将包含未堆积的玻璃微粒子等的排气排出,在该过程中制造形成粉末堆积体50。
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