[发明专利]一种基板预烘烤装置

权利要求书

1.一种基板预烘烤装置，其特征在于，包括

烘烤箱体，其内部为烘烤容腔，所述烘烤箱体的一侧面设有侧门开口；

侧门，安装于所述侧门开口处；

加热机构，设于所述烘烤容腔中；

热风幕系统，设于所述烘烤箱体的侧门处；

当所述侧门开启时，所述热风幕系统用于在所述侧门开口处形成隔绝所述烘烤容腔与外界环境的热风幕。

2.根据权利要求1所述的基板预烘烤装置，其特征在于，所述热风幕系统包括

出气口，设于所述侧门开口的上缘；

管道，连通于所述出气口；

加热管，设于所述管道中并连接于所述控制器；

风机，所述设于所述管道中并连接于控制器。

3.根据权利要求2所述的基板预烘烤装置，其特征在于，所述出气口包括

第一排出气口，位于所述侧门开口邻接所述烘烤容腔的一侧，用于形成第一道热风幕；

第二排出气口，位于所述侧门开口邻接所述外界环境的一侧，用于形成第二道热风幕；

其中，所述第一排出气口与所述第二排出气口并排设置。

4.根据权利要求3所述的基板预烘烤装置，其特征在于，所述第二道热风幕的风速小于所述第一道热风幕的风速。

5.根据权利要求3所述的基板预烘烤装置，其特征在于，所述第二道热风幕的温度小于所述第一道热风幕的温度。

6.根据权利要求1所述的基板预烘烤装置，其特征在于，所述热风幕的温度与所述烘烤容腔中的温度保持一致。

7.根据权利要求1所述的基板预烘烤装置，其特征在于，还包括控制系统，所述加热机构、热风幕系统信号连接于所述控制系统，所述控制系统用于检测所述烘烤容腔的实时温度，并通过所述加热机构控制所述烘烤容腔的实时温度以及用于检测所述热风幕的实时温度，并通过所述热风幕系统控制所述热风幕的温度以及用于控制所述热风幕的风速。

8.根据权利要求7所述的基板预烘烤装置，其特征在于，所述控制系统包括

第一温度传感器组，设于所述烘烤容腔中，用于检测所述烘烤容腔的实时温度信息；

第二温度传感器组，设于所述侧门处，用于检测所述热风幕的实时温度信息；

控制器，所述第一温度传感器组、第二温度传感器组信号连接于所述控制器；所述第一温度传感器组、第二温度传感器组将所测得的实时温度信息传递至所述控制器。

9.根据权利要求8所述的基板预烘烤装置，其特征在于，所述控制系统还包括风速传感器组，连接于所述控制器，所述风速传感器用于获取所述热风幕的风速信息，并将该风速信息传递至所述控制器。

10.根据权利要求8所述的基板预烘烤装置，其特征在于，还包括角度传感器，设于所述侧门上并连接于所述控制器，所述角度传感器用于获取所述侧门的开启信息，当所述控制器从所述角度传感器接收到所述侧门的开启信息后控制所述热风幕系统运行。