[发明专利]一种基板预烘烤装置

说明书

技术领域

本发明涉及显示器制作工艺等领域，具体为一种基板预烘烤装置。

背景技术

目前的有机发光二极管(OLED)产品生产过程中需要经过很多道热烘烤制程，例如在刻光(Photo)制程中，基板涂布光阻之后，曝光前需要先经过预烘烤处理，将光阻中的溶剂通过加热烘烤的方式去除，提高光阻的感度，使曝光后得到的光阻图形更好。

预烘烤处理方式：将玻璃基板放置到一个密闭空间内的恒温加热板上进行加热，经过设定的加热时间后烘烤箱的开门开启，机器人将基板取出并放入下一片基板。

烘烤箱的开门开启过程中，外部的空气会进入到烘烤箱里面造成局部温度下降，导致里面的光阻溶剂在遮蔽层(Cover)上凝结，产生颗粒等影响产品的曝光效果，且烘烤箱中的局部温度过低也会导致产品显影出来的图形局部异常。另外，开门开启的时候里面的光阻溶剂外泄，造成空气污染。

发明内容

本发明的目的是：提供一种基板预烘烤装置，加装热风幕系统形成隔绝所述烘烤容腔与外界环境的热风幕，以提升产品的良率。

实现上述目的的技术方案是：一种基板预烘烤装置，包括烘烤箱体，其内部为烘烤容腔，所述烘烤箱体的一侧面设有侧门开口；侧门，安装于所述侧门开口处；加热机构，设于所述烘烤容腔中；热风幕系统，设于所述烘烤箱体的侧门处；当所述侧门开启时，所述热风幕系统用于在所述侧门开口处形成隔绝所述烘烤容腔与外界环境的热风幕。

在本发明一较佳实施例中，所述热风幕系统包括出气口，设于所述侧门开口的上缘；管道，连通于所述出气口；加热管，设于所述管道中并连接于所述控制器；风机，所述设于所述管道中并连接于控制器。

在本发明一较佳实施例中，所述出气口包括第一排出气口，位于所述侧门开口邻接所述烘烤容腔的一侧，用于形成第一道热风幕；第二排出气口，位于所述侧门开口邻接所述外界环境的一侧，用于形成第二道热风幕；其中，所述第一排出气口与所述第二排出气口并排设置。

在本发明一较佳实施例中，所述第二道热风幕的风速小于所述第一道热风幕的风速。

在本发明一较佳实施例中，所述第二道热风幕的温度小于所述第一道热风幕的温度。

在本发明一较佳实施例中，所述热风幕的温度与所述烘烤容腔中的温度保持一致。

在本发明一较佳实施例中，所述的基板预烘烤装置还包括控制系统，所述加热机构、热风幕系统信号连接于所述控制系统，所述控制系统用于检测所述烘烤容腔的实时温度，并通过所述加热机构控制所述烘烤容腔的实时温度以及用于检测所述热风幕的实时温度，并通过所述热风幕系统控制所述热风幕的温度以及用于控制所述热风幕的风速。

在本发明一较佳实施例中，所述控制系统包括第一温度传感器组，设于所述烘烤容腔中，用于检测所述烘烤容腔的实时温度信息；第二温度传感器组，设于所述侧门处，用于检测所述热风幕的实时温度信息；控制器，所述第一温度传感器组、第二温度传感器组信号连接于所述控制器；所述第一温度传感器组、第二温度传感器组将所测得的实时温度信息传递至所述控制器。

在本发明一较佳实施例中，所述控制系统还包括风速传感器组，连接于所述控制器，所述风速传感器用于获取所述热风幕的风速信息，并将该风速信息传递至所述控制器。

在本发明一较佳实施例中，所述的基板预烘烤装置还包括角度传感器，设于所述侧门上并连接于所述控制器，所述角度传感器用于获取所述侧门的开启信息，当所述控制器从所述角度传感器接收到所述侧门的开启信息后控制所述热风幕系统运行。

本发明的优点是：本发明的基板预烘烤装置，当烘烤箱体中开门开启时，有效的阻止烘烤箱体的烘烤容腔里面的气体流到外界环境或外界环境中的气流进入到烘烤容腔里面，有效的避免了因气流交互流动而引起局部温度变化；从而有效的提高了产品的良率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明作进一步解释。

图1是本发明实施例的烘烤箱体形成热风幕的动态示意图。

图2是本发明实施例3的所述控制系统的模块图。

其中，

1 烘烤箱体； 2 侧门；

3 加热机构； 4 热风幕系统；

5 控制系统； 6 基板；

11 烘烤容腔；12 排气管道；

51 第一温度传感器组；52 第二温度传感器组；

53 风速传感器组；54 角度传感器；

55 控制器。

具体实施方式