[发明专利]一种柔性OLED显示器件剥离方法及柔性OLED显示器件有效
| 申请号： | 201710713438.8 | 申请日： | 2017-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN107516666B | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 陈霞 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/32 | 分类号： | H01L27/32;H01L51/56;H01L51/00 |
| 代理公司： | 44238 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) | 代理人： | 潘中毅;熊贤卿 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 oled 显示 器件 剥离 方法 | ||
1.一种柔性OLED显示器件剥离方法，其特征在于，包括下述步骤：
在承载基板的一面涂布薄膜层，其中，所述承载基板为玻璃板、亚克力板、表面粗糙的金属板中的一种，所述玻璃板上用于涂布所述薄膜层的一面进行等离子处理，所述薄膜层的材料为萘、五氯化磷、胺类化合物、聚醇类化合物、石蜡中的至少一种；
在所述薄膜层上形成柔性衬底层；
在所述柔性衬底层上形成低温多晶硅层；
在所述低温多晶硅层上形成发光层；
在所述发光层上形成封装层；
对所述薄膜层进行加热，直至所述柔性衬底层与所述承载基板剥离，得到柔性OLED显示器件。
2.根据权利要求1所述的柔性OLED显示器件剥离方法，其特征在于，所述封装层包含有SixNy和/或SiN，其中，x≥1，y≥1。
3.根据权利要求1所述的柔性OLED显示器件剥离方法，其特征在于，所述胺类化合物为芳香胺化合物或者丙烯酰胺中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的柔性OLED显示器件剥离方法，其特征在于，所述聚醇类化合物为聚乙二醇。
5.根据权利要求1所述的柔性OLED显示器件剥离方法，其特征在于，所述薄膜层的厚度为纳米级或者微米级。
6.根据权利要求1所述的柔性OLED显示器件剥离方法，其特征在于，所述柔性衬底层为聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对萘二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺中至少一种材料制成的透明膜。
7.根据权利要求1所述的柔性OLED显示器件剥离方法，其特征在于，所述发光层包括有机EL层。
8.根据权利要求1所述的柔性OLED显示器件剥离方法，其特征在于，当所述薄膜层为萘、五氯化磷中的至少一种材料制成时，在对所述薄膜层进行加热时，还进行真空辅助处理。
9.一种柔性OLED显示器件，其特征在于，由权利要求1-8任一项柔性OLED显示器件剥离方法制成。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
