[发明专利]一种柔性OLED显示器件剥离方法及柔性OLED显示器件有效
申请号: | 201710713438.8 | 申请日: | 2017-08-18 |
公开(公告)号: | CN107516666B | 公开(公告)日: | 2020-01-10 |
发明(设计)人: | 陈霞 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/56;H01L51/00 |
代理公司: | 44238 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) | 代理人: | 潘中毅;熊贤卿 |
地址: | 430000 湖北省武汉市武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 柔性 oled 显示 器件 剥离 方法 | ||
本发明提供一种柔性OLED显示器件剥离方法,该方法包括下述步骤:在承载基板的一面涂布薄膜层,其中,承载基板为玻璃板、亚克力板、表面粗糙的金属板中的一种,薄膜层的材料为萘、五氯化磷、胺类化合物、聚醇类化合物、石蜡中的至少一种;在薄膜层上形成柔性衬底层;在柔性衬底层上形成低温多晶硅层;在低温多晶硅层上形成发光层;在发光层上形成封装层;对薄膜层进行加热,直至衬底层与承载基板剥离,得到柔性OLED显示器件。本发明提供的剥离方法,可以简单地让柔性OLED显示器件与承载基板之间分离,不会出现显示器件的柔性衬底层与承载基板之间出现难以剥离的情形,也不会出现拉扯导致OLED显示器件中的膜层破裂,提高了OLED显示器件的剥离过程良率。
技术领域
本发明涉及OLED显示技术领域,尤其涉及一种柔性OLED显示器件剥离方法及柔性OLED显示器件。
背景技术
利用传统方法制造柔性OLED显示器件,先在基板玻璃上涂布PI、LTPS流程、蒸镀EL和封装后,再通过激光剥离技术,使PI层与基板玻璃分离。由于柔性OLED制备中,各层显示结构制程是先在基板玻璃上完成,通过激光剥离技术,让激光照射在基板玻璃上,使PI层与基板玻璃分离,剥离过程中不仅激光设备成本高,而且若不能精确控制激光的能量,激光会损伤OLED显示器件,并且基板玻璃表面还存在画面显示不良,以及基板玻璃表面的颗粒等问题,会导致PI层的表面接收的激光能量不均匀,其表面接收激光少的部位难剥离,在剥离过程中有可能拉扯导致OLED显示器件中的膜层(例如EL层,即发光层)破裂,导致降低剥离过程良率。
发明内容
为解决上述技术问题,本发明提供一种柔性OLED显示器件剥离方法及柔性OLED显示器件,可以简单地将OLED显示器件的柔性衬底层与承载基板之间进行剥离,提高了OLED显示器件的剥离过程良率。
本发明提供的一种柔性OLED显示器件剥离方法,包括下述步骤:
在承载基板的一面涂布薄膜层,其中,所述承载基板为玻璃板、亚克力板、表面粗糙的金属板中的一种,所述薄膜层的材料为萘、五氯化磷、胺类化合物、聚醇类化合物、石蜡中的至少一种;
在所述薄膜层上形成柔性衬底层;
在所述柔性衬底层上形成低温多晶硅层;
在所述低温多晶硅层上形成发光层;
在所述发光层上形成封装层;
对所述薄膜层进行加热,直至所述柔性衬底层与所述承载基板剥离,得到柔性OLED显示器件。
优选地,还包括下述步骤:
所述封装层包含有SixOy和/或SiN,其中,x≥1,y≥1。
优选地,所述胺类化合物为芳香胺化合物或者丙烯酰胺中的至少一种。
优选地,所述聚醇类化合物为聚乙二醇。
优选地,所述薄膜层的厚度为纳米级或者微米级。
优选地,所述柔性衬底层为为聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对萘二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺中至少一种材料制成的透明膜。
优选地,所述发光层包括有机EL层。
优选地,当所述薄膜层为萘、五氯化磷中的至少一种材料制成时,在对所述薄膜层进行加热时,还进行真空辅助处理。
优选地,当所述承载基板为玻璃板时,在玻璃板上用于涂布所述薄膜层的一面进行等离子处理,增加其表面的羟基数量及粗糙度。
本发明还提供一种柔性OLED显示器件,由上述的柔性OLED显示器件剥离方法制成。
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