[发明专利]集成电路测试系统时间传递标准器组及其测试方法

权利要求书

1.一种集成电路测试系统时间传递标准器的测试方法，其特征在于，

所述集成电路测试系统时间传递标准器包括第一时间传递标准器和第二时间传递标准器；

所述第一时间传递标准器包括第一集成电路，所述第一集成电路包括有第一信号输入端和分别与该第一信号输入端连接的第一延时电路、第二延时电路、第三延时电路、第四延时电路、第五延时电路和第六延时电路，所述第一延时电路、第二延时电路、第三延时电路、第四延时电路、第五延时电路和第六延时电路对应的延时时间分别为10ns、20ns、30ns、40ns、50ns和100ns，所述第一延时电路、第二延时电路、第三延时电路、第四延时电路、第五延时电路和第六延时电路的信号输出端分别连接有一个输出引脚；

所述第二时间传递标准器包括第二集成电路，所述第二集成电路包括有第二信号输入端和分别与该第二信号输入端连接的第七延时电路和第八延时电路，所述第七延时电路和第八延时电路对应的延时时间分别为2ns、5ns，所述第七延时电路和第八延时电路的信号输出端分别连接有一个输出引脚；

所述方法包括：

测试时间传递标准器的集成电路中每一延时电路的延时时间量值；

分别采集集成电路在高温、低温和常温环境中的延时时间量值；

若在高温、低温和常温环境中所述延时时间量值在预设的不确定度范围之内的连续次数大于预设的次数阈值，则判定所述集成电路满足均匀性要求；

进行老化试验，在预设时间间隔点测试延时电路在不同老化时间的延时时间量值；

通过t 检验法判定延时电路在不同老化时间的延时时间量值的稳定性，若得到的t值符合预设的显著性水平，则判定所述集成电路满足稳定性要求；

对所述集成电路进行溯源性测试，得到所述集成电路中每一延时电路的延时时间量值的标准值；

所述对所述集成电路进行溯源性测试包括：采用时间参数定标系统对所述集成电路进行溯源性测试；其中，所述时间参数定标系统包括高速脉冲源、高速示波器和特制的测试夹具，所述高速脉冲源驱动时间传递标准器的集成电路，在集成电路相应的输出引脚测量所述集成电路中每一延时电路的延时时间量值的标准值；

通过组织多家实验室进行对所述时间传递标准器进行比对验证，验证所述时间传递标准器的集成电路中每一延时电路的延时时间量值的准确性；

所述通过组织多家实验室进行对所述时间传递标准器进行比对验证包括：采用花瓣式比对验证方法，组织多家实验室进行对所述时间传递标准器的比对验证；

所述通过组织多家实验室进行对所述时间传递标准器进行比对验证，验证所述时间传递标准器的集成电路中每一延时电路的延时时间量值的准确性包括：

分别计算任意两个实验室中检测到的所述时间传递标准器的集成电路中每一延时电路的延时时间量值之间的归一化偏差En值，公式如下：

其中：

x表示参比实验室的测量结果；

X表示被测件的指定值；

表示参比实验室测量结果的测量不确定度；

表示指定值的测量不确定度；

根据所述En值验证所述时间传递标准器的集成电路中每一延时电路的延时时间量值的准确性。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述测试时间传递标准器的集成电路中每一延时电路的延时时间量值，包括：

采用定值测试法确定集成电路中每一延时电路的信号输出端的量值。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述老化试验包括：静态老化、动态老化和温度冲击。