[发明专利]集成电路测试系统时间传递标准器组及其测试方法

说明书

本发明实施例公开了一种集成电路测试系统时间传递标准器组及其测试方法，时间传递标准器组包括第一时间传递标准器和第二时间传递标准器；第一时间传递标准器包括第一集成电路，第一集成电路包括有第一信号输入端和分别与该第一信号输入端连接的多个延时电路；第二时间传递标准器包括第二集成电路，第二集成电路包括有第二信号输入端和分别与该第二信号输入端连接的多个延时电路，上述所有延时电路的信号输出端均分别连接有一个输出引脚。本发明提供的传递标准器组能够快速实现对集成电路测试系统的通道传输延迟时间的校准，可靠性高，使用便捷，体积较小，易于携带，同时在校准过程中排除了人为因素，提高了测量的准确度。

技术领域

本发明涉及微电子计量技术领域，尤其涉及一种集成电路测试系统时间传递标准器组及其测试方法。

背景技术

集成电路测试系统是进行集成电路设计验证、生产测试、筛选、可靠性分析、失效分析，保证集成电路质量和可靠性的专用测试设备。集成电路测试量值的准确性是保证集成电路质量和可靠性的关键。集成电路测试系统校准是保证集成电路测试量值准确可靠的有效途径。

随着高速集成电路的发展，高速集成电路测试系统性能的提升主要体现在其时间参量指标的提升。在信号一个非常短的周期上，纳秒级的微小变化都会对系统产生巨大的影响，若时间精度达不到要求，将直接导致集成电路测试的误判，整个测试结果都失去意义。只有全面、准确的测量测试系统的时间参数，才能保证测试系统的性能。因此，在高速集成电路测试中，对测试系统时间参数的要求异常严格。目前集成电路测试时间参数的校准方法是，在集成电路测试系统的测试板的每个管脚上连接示波器，通过示波器校准时间参数。该方法的缺点是：1.测试系统的管脚比较多，需要重复连接每一个管脚，校准时间很长。2.通过此方法，引入的人为因素影响测量结果，不确定度大。

发明内容

鉴于上述问题，本发明提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的集成电路测试系统时间传递标准器组及其测试方法，以实现快速校准集成电路测试系统的时间参数，同时在校准过程中排除了人为因素，提高测量准确度。

本发明的一个方面，提供了一种集成电路测试系统时间传递标准器组，包括：

第一时间传递标准器和第二时间传递标准器；

所述第一时间传递标准器包括第一集成电路，所述第一集成电路包括有第一信号输入端和分别与该第一信号输入端连接的第一延时电路、第二延时电路、第三延时电路、第四延时电路、第五延时电路和第六延时电路，所述第一延时电路、第二延时电路、第三延时电路、第四延时电路、第五延时电路和第六延时电路对应的延时时间分别为10ns、20ns、30ns、40ns、50ns和100ns，所述第一延时电路、第二延时电路、第三延时电路、第四延时电路、第五延时电路和第六延时电路的信号输出端分别连接有一个输出引脚；

所述第二时间传递标准器包括第二集成电路，所述第二集成电路包括有第二信号输入端和分别与该第二信号输入端连接的第七延时电路和第八延时电路，所述第七延时电路和第八延时电路对应的延时时间分别为2ns、5ns，所述第七延时电路和第八延时电路的信号输出端分别连接有一个输出引脚。

本发明的另一个方面，提供了一种集成电路测试系统时间传递标准器的测试方法，所述方法包括：

测试时间传递标准器的集成电路中每一延时电路的延时时间量值；

分别采集集成电路在高温、低温和常温环境中的延时时间量值；

若在高温、低温和常温环境中所述延时时间量值在预设的不确定度范围之内的连续次数大于预设的次数阈值，则判定所述集成电路满足均匀性要求；

进行老化试验，在预设时间间隔点测试延时电路在不同老化时间的延时时间量值；

通过t 检验法判定延时电路在不同老化时间的延时时间量值的稳定性，若得到的t值符合预设的显著性水平，则判定所述集成电路满足稳定性要求；