[发明专利]一种气体扩散装置

权利要求书

1.一种气体扩散装置，其特征在于，包括：

盖板；

第一扩散部，所述第一扩散部与所述盖板配合形成第一扩散空间以及与所述第一扩散空间连通的进气口；

第二扩散部，所述第二扩散部与所述盖板配合形成第二扩散空间以及与所述第二扩散空间连通的出气口，所述第二扩散空间与所述第一扩散空间连通，以使得从所述进气口进入的气体经所述第一扩散空间和所述第二扩散空间传输后从所述出气口输出；

其中在从所述进气口到所述出气口的方向上，所述第一扩散部与所述盖板之间的间隙高度逐渐变小，而所述第二扩散部与所述盖板之间的间隙高度先逐渐变大，后逐渐变小。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述第一扩散部与所述盖板之间的间隙高度以直线方式逐渐变小。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于：在所述第一扩散部与所述盖板之间的间隙高度逐渐变小过程中，所述第一扩散部与所述盖板之间的间隙高度的变化值为5-15mm。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述第二扩散部与所述盖板之间的间隙高度以曲线方式先逐渐变大，后逐渐变小。

5.根据权利要求1或4所述的装置，其特征在于：所述第二扩散部与所述盖板之间的间隙高度逐渐变大的过程中，所述第二扩散部与所述盖板之间的间隙高度的变化值为5-10mm。

6.根据权利要求1、2或4任一项所述的装置，其特征在于：所述第二扩散部与所述盖板之间的最大间隙高度小于所述第一扩散部与所述盖板之间的最大间隙高度。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：在所述第二扩散部与所述盖板之间的间隙高度逐渐变小过程中，所述第二扩散部与所述盖板之间的间隙高度的变化率从所述出气口的中心区域向两侧逐渐变小。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于：在所述出气口的位置处所述第二扩散部与所述盖板之间的间隙高度从所述出气口的中心区域向两侧逐渐增大。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述进气口呈点状设置且与所述第一扩散空间远离所述盖板的底部角落连通，所述出气口呈条状设置且与所述第二扩散空间靠近所述盖板的顶部角落连通。

10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述第一扩散空间在所述盖板上的投影相对于所述进气口呈放射状展开，所述第二扩散空间在所述盖板上的投影相对于所述第一扩散空间呈放射状展开，其中所述第一扩散空间的展开角度大于所述第二扩散空间的展开角度。