[发明专利]一种硅片定位机构

权利要求书

1.一种硅片定位机构(3)，其特征在于，包括：

固定底座(31)；

设于固定底座(31)上的驱动组件(32)；以及

设于固定底座(31)上的左右限位组件(34)，

其中，左右限位组件(34)包括滑动配接于固定底座(31)上的左限位板(341)及右限位板(342)，左限位板(341)与右限位板(342)平行且间隔设置以形成位于两者之间的定位通道，左限位板(341)与右限位板(342)在驱动组件(32)的驱动下选择性地相互靠近或远离；

驱动组件(32)包括：

驱动电机(321)；以及

与驱动电机(321)的动力输出端传动连接的第一椭圆盘(322)，其外周呈椭圆形，

其中，第一椭圆盘(322)设于固定座(31)之上并位于左限位板(341)与右限位板(342)之间，左限位板(341)的内侧及右限位板(342)的内侧始终与第一椭圆盘(322)的外周保持面接触；

左限位板(341)的顶部及右限位板(342)的顶部分别设有滚动连接的左限位轮(3412)及右限位轮(3422)；其中，左限位轮(3412)及右限位轮(3422)能够将左限位板(341)与右限位板(342)施加在硅片左右两边的面接触力变为滚动接触力，减少左限位板(341)与右限位板(342)对硅片的压迫，从而对硅片起到一定的保护作用；

所述定位通道的上游、固定底座(31)的旁侧固接有上游定位组件(33)；上游定位组件(33)包括：

与固定底座(31)相固接的上游底座(331)；以及

设于上游底座(331)上的上游限位杆(333)，

其中，上游限位杆(333)可在上游底座(331)上往复滑移；

第一椭圆盘(322)上设有外周呈椭圆形的第二椭圆盘(323)，第二椭圆盘(323)与驱动电机(321)的动力输出端传动连接，上游限位杆(333)的内侧始终与第二椭圆盘(323)的外周保持面接触，上游限位杆(333)在驱动组件(32)的驱动下选择性地相互靠近或远离所述定位通道。

2.如权利要求1所述的硅片定位机构(3)，其特征在于，左限位板(341)的底部内侧及右限位板(342)的底部内侧分别固接有左滑块(3411)及右滑块(3421)，固定底座(31)上设有位于左限位板(341)及右限位板(342)之间的左滑动导轨(311)及右滑动导轨(312)，左滑块(3411)及右滑块(3421)分别与左滑动导轨(311)及右滑动导轨(312)滑动配接，左滑块(3411)的内侧及右滑块(3421)的内侧始终与第一椭圆盘(322)的外周保持面接触。

3.如权利要求1所述的硅片定位机构(3)，其特征在于，第一椭圆盘(322)的长轴与第二椭圆盘(323)的长轴相垂直。

4.如权利要求1所述的硅片定位机构(3)，其特征在于，上游底座(331)上设有垂直于所述定位通道的上游滑动导轨(334)，上游限位杆(333)的底部固接有与上游滑动导轨(334)滑动配接的上游滑块(3331)，上游滑块(3331)上设有连接块(332)。

5.如权利要求4所述的硅片定位机构(3)，其特征在于，连接块(332)的一端与上游滑块(3331)相固接，另一端则与第二椭圆盘(323)的外周始终保持面接触，上游滑动导轨(334)与水平面成一定夹角α。