[发明专利]一种硅片定位机构有效
申请号: | 201710718788.3 | 申请日: | 2017-08-21 |
公开(公告)号: | CN107658255B | 公开(公告)日: | 2023-08-25 |
发明(设计)人: | 张学强;戴军;张建伟;贾宇鹏 | 申请(专利权)人: | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L31/18 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 | 代理人: | 韩飞 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 定位 机构 | ||
本发明公开了一种硅片定位机构,包括:固定底座;设于固定底座上的驱动组件;以及设于固定底座上的左右限位组件,其中,左右限位组件包括滑动配接于固定底座上的左限位板及右限位板,左限位板与右限位板平行且间隔设置以形成位于两者之间的定位通道,左限位板与右限位板在驱动组件的驱动下选择性地相互靠近或远离。根据本发明,其在提高硅片水平度及对中度精度同时,还能够提高定位对中的效率,从而进一步提高了生产效率。
技术领域
本发明涉及机械领域,特别涉及一种硅片定位机构。
背景技术
一般来讲,太阳能电池硅片工艺处理步骤包括以下个步骤:1、制绒,将硅片表面腐蚀成金字塔状的形貌;2、扩散,硅片表面形成PN结;3、刻蚀,将硅片边缘的PN结去掉,防止电池短路;4、去PSG,清洗硅片表面,去除二氧化硅层;5、PECVD,在硅片表面镀一层减反射膜;6、印刷烧结,印刷电极及背场,并烘干烧结。在上述工艺处理步骤中,需要对硅片多次转移,而在转移过程中就需要对硅片的空间位置进行定位,保证其对中及水平度,从而提高硅片的处理质量,在现有技术中对硅片的对中定位需要人工辅助的步骤较多,导致自动化程度低、对中定位效率低下,同时对中定位的精度也有限。有鉴于此,实有必要开发一种硅片定位机构,用以解决上述问题。
发明内容
针对现有技术中存在的不足之处,本发明的目的是提供一种硅片定位机构,其在提高硅片水平度及对中度精度同时,还能够提高定位对中的效率,从而进一步提高了生产效率。
为了实现根据本发明的上述目的和其他优点,提供了一种硅片定位机构,包括:
固定底座;
设于固定底座上的驱动组件;以及
设于固定底座上的左右限位组件,
其中,左右限位组件包括滑动配接于固定底座上的左限位板及右限位板,左限位板与右限位板平行且间隔设置以形成位于两者之间的定位通道,左限位板与右限位板在驱动组件的驱动下选择性地相互靠近或远离。
优选的是,驱动组件包括:
驱动电机;以及
与驱动电机的动力输出端传动连接的第一椭圆盘,其外周呈椭圆形,
其中,第一椭圆盘设于固定座之上并位于左限位板与右限位板之间,左限位板的内侧及右限位板的内侧始终与第一椭圆盘的外周保持面接触。
优选的是,左限位板的底部内侧及右限位板的底部内侧分别固接有左滑块及右滑块,固定底座上设有位于左限位板及右限位板之间的左滑动导轨及右滑动导轨,左滑块及右滑块分别与左滑动导轨及右滑动导轨滑动配接,左滑块的内侧及右滑块的内侧始终与第一椭圆盘的外周保持面接触。
优选的是,左限位板的顶部及右限位板的顶部分别设有滚动连接的左限位轮及右限位轮。
优选的是,所述定位通道的上游、固定底座的旁侧固接有上游定位组件。
优选的是,上游定位组件包括:
与固定底座相固接的上游底座;以及
设于上游底座上的上游限位杆,
其中,上游限位杆可在上游底座上往复滑移。
优选的是,第一椭圆盘上设有外周呈椭圆形的第二椭圆盘,第二椭圆盘与驱动电机的动力输出端传动连接,上游限位杆的内侧始终与第二椭圆盘的外周保持面接触,上游限位杆在驱动组件的驱动下选择性地相互靠近或远离所述定位通道。
优选的是,第一椭圆盘的长轴与第二椭圆盘的长轴相垂直。
优选的是,上游底座上设有垂直于所述定位通道的上游滑动导轨,上游限位杆的底部固接有与上游滑动导轨滑动配接的上游滑块,上游滑块上设有连接块。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造