[发明专利]机械手电磁升降机构

说明书

技术领域

本发明涉及机械领域，具体涉及一种机械手电磁升降机构。

背景技术

现代工业迅速发展，半导体器件作为高新科技的产物，需求量日渐提高，因此人们对半导体加工设备的自动化水平日渐提高。

机械手作为半导体加工设备的传送结构，大幅提高了取送片的效率，同时也为批量高效率的生产提供了可能，降低了使用工作人员的数量，也为半导体设备的使用提供了很大便利。

目前市面上的机械手多种多样，但是有的机械手包含高精尖的技术而制造成本较高；有的传送机构功能简单，但结构复杂、制造成本高、可靠性低、使用寿命也低；有的设备配备了高精尖的全自动机械手成品，无疑使得设备的成本更高，也浪费了高精尖全自动成品机械手的很大范围的其他功能。

发明内容

本发明的目的是提供一种机械手电磁升降机构，该机械手电磁升降机构包括上方设有机械手的安装基板和推拉式电磁铁，所述推拉式电磁铁包括缠绕有电磁线圈的电磁铁主体和贯穿所述电磁铁主体并且能够相对所述电磁铁主体相对轴向移动的活动杆，所述电磁铁主体连接于所述安装基板，所述活动杆的杆头和杆尾分别位于所述安装基板的两侧，所述杆头与所述机械手连接，所述杆尾设有阻挡部。该机械手电磁升降机构结构简单，使用调节方便，成本低，能够实现机械手的升降动作。

本发明的机械手电磁升降机构中，优选为，所述杆头设有与所述机械手接触的托片。

本发明的机械手电磁升降机构中，优选为，所述托片为等腰三角形托片，所述杆头与所述等腰三角形托片的顶角连接，所述等腰三角形托片的两个底角沿所述机械手的横向方向延伸设置。

本发明的机械手电磁升降机构中，优选为，所述电磁铁主体和所述阻挡部之间还设有弹簧。

本发明的机械手电磁升降机构中，优选为，所述机械手电磁升降机构还包括液压缓冲器，所述液压缓冲器包括液压缓冲器主体和运动杆，所述液压缓冲器主体连接于所述安装基板，所述液压缓冲器主体的一端设有液压调控部，所述运动杆能够相对所述液压缓冲器主体的另一端轴向移动，所述运动杆包括运动端，所述运动端与所述机械手连接。

本发明的机械手电磁升降机构中，优选为，所述机械手电磁升降机构包括两个所述液压缓冲器，两个所述液压缓冲器沿所述机械手的横向方向分别设置在所述推拉式电磁铁的两侧，并且两个所述液压缓冲器与所述推拉式电磁铁布置为三角结构。

本发明的机械手电磁升降机构中，优选为，两个所述液压缓冲器的所述运动端分别设置在所述等腰三角形托片的两个底角处。

本发明的机械手电磁升降机构中，优选为，两个所述液压缓冲器的所述运动杆的运动端分别穿过所述等腰三角形托片的两个底角固定于所述机械手上。

本发明的机械手电磁升降机构中，优选为，所述运动杆的升降距离大于所述活动杆的升降距离。

本发明的机械手电磁升降机构中，优选为，所述机械手电磁升降机构还包括水平导向轴和水平导向滑块，所述水平导向滑块连接于所述安装基板，并且能够沿所述水平导向轴滑动地安装在所述水平导向轴上。

通过上述技术方案，本发明通过在安装基板上设置推拉式电磁铁，使得当电磁铁主体内的电磁线圈通电时会瞬间产生磁场，该磁场便会对活动杆产生吸引力，并将杆头推向远离电磁铁主体的位置；当电磁铁主体内的电磁线圈断电时会瞬间失去磁性，同时也失去了吸引力，并将杆头恢复至原始位置，即靠近电磁铁主体的位置。杆头与机械手连接，通过上述杆头的运动来实现机械手的升降动作。该机械手电磁升降机构结构简单，使用调节方便，成本低，能够实现机械手的升降动作。

附图说明

图1是根据本发明的优选实施方式的机械手电磁升降机构的主视图；

图2是根据本发明的优选实施方式的机械手电磁升降机构的左视图；

图3是根据本发明的优选实施方式的机械手电磁升降机构的俯视图；

图4是根据本发明的优选实施方式的机械手电磁升降机构中，处于伸出状态的推拉式电磁铁的结构示意图；

图5是根据本发明的优选实施方式的机械手电磁升降机构中，处于缩回状态的推拉式电磁铁的结构示意图；

图6是根据本发明的优选实施方式的机械手电磁升降机构中，处于伸出状态的缓冲器的结构示意图；

图7是根据本发明的优选实施方式的机械手电磁升降机构中，处于缩回状态的推拉式电磁铁的结构示意图。

附图标记：