[发明专利]包括基底和负载电流端子元件的功率半导体装置有效
申请号: | 201710727589.9 | 申请日: | 2017-08-23 |
公开(公告)号: | CN107768356B | 公开(公告)日: | 2023-06-16 |
发明(设计)人: | 马库斯·贝克;亚历山大·施耐德;哈特穆特·库拉斯;帕特里克·格拉施尔;克里斯蒂安·蔡勒 | 申请(专利权)人: | 赛米控电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L25/07 | 分类号: | H01L25/07;H01L23/48;H01L23/473 |
代理公司: | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人: | 谢攀;刘继富 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 包括 基底 负载 电流 端子 元件 功率 半导体 装置 | ||
1.一种功率半导体装置,包括基底(6),包括布置在所述基底(6)上并导电连接至所述基底(6)的多个功率半导体部件(11),包括多个导电负载电流端子元件(5,5',5”),包括冷却装置(2),所述基底(6)布置于冷却装置(2)上,以及包括多个压力装置(4),所述压力装置(4)分别具有布置成能够在基底(6)的法线(N)方向上移动的压力元件(4a),以及布置在所述压力元件(4a)和指定的负载电流端子元件(5,5',5”)之间的弹性变形元件(4b),其中所述压力元件(4a)通过所述弹性变形元件(4b)将所述指定的负载电流端子元件(5,5',5”)压在所述基底(6)的导电接触区域(6a')上,从而产生指定的负载电流端子元件(5,5',5”)与基底(6)的导电压力接触,所述压力装置(4)分别具有布置在所述弹性变形元件(4b)和所述指定的负载电流端子元件(5,5',5”)之间的中间元件(9),其中所述压力元件(4a)通过所述弹性变形元件(4b)且通过所述中间元件(9)将所述指定的负载电流端子元件(5,5',5”)压在所述基底(6)的导电接触区域(6a)上。
2.根据权利要求1所述的功率半导体装置,其特征在于,所述功率半导体装置(1,1')具有压力元件插座装置(8),压力元件插座装置(8)具有用于接收压力元件(4a)的第一插座装置(8a),其中相应的压力元件(4a)的至少一个部分布置在相应的第一插座装置(8a)中。
3.根据权利要求2所述的功率半导体装置,其特征在于,所述第一插座装置(8a)和所述压力元件(4a)具有一构造,从而通过压力元件(4a)与第一插座装置(8a)的正向锁定接合,所述第一插座装置(8a)限制所述压力元件(4a)在垂直于基底(6)的法线(N)的方向上的移动。
4.根据权利要求2或3所述的功率半导体装置,其特征在于,所述第一插座装置(8a)分别具有在其背离基底(6)的侧面(8a')上的一开口(8a”),通过所述开口,压力元件(4a)的一部分分别能够在基底(6)的法线(N)方向上移动,其中第一插座装置(8a)和压力元件(4a)具有一构造,从而通过压力元件(4a)与第一插座装置(8a)的正向锁定接合来限制压力元件(4a)在基底(6)的法线(N)方向上远离基底(6)的移动。
5.根据前述权利要求1-3中任一项所述的功率半导体装置,其特征在于,压力元件(4a)分别具有压力主元件(4a')和销(4a”),销(4a”)在背离所述基底(6)的方向上从所述压力主元件(4a')突出,其中背向所述压力元件(4a)的销(4a”)的、所述压力主元件(4a')的底面(4c)在基底(6)的法线(N)方向上压在弹性变形元件(4b)上面。
6.根据前述权利要求1-3中任一项所述的功率半导体装置,其特征在于,所述压力元件(4a)以材料结合的方式,或以力锁合和/或正向锁合的方式,连接到所述弹性变形元件(4b)。
7.根据前述权利要求1-3中任一项所述的功率半导体装置,其特征在于,弹性变形元件(4b)是弹簧或是一种弹性体。
8.根据权利要求7所述的功率半导体装置,其特征在于,弹簧是螺旋形弹簧;弹性体是交联硅橡胶,橡胶泡沫或塑料泡沫。
9.根据权利要求7所述的功率半导体装置,其特征在于,所述弹性变形元件(4b)实现为螺旋形弹簧,其中螺旋形弹簧的最外侧线圈(4b')具有至少一个无节距的部分(4b”),所述最外侧线圈(4b')布置在面向指定的负载电流端子元件(5,5',5”)的螺旋弹簧的端部(E1)处,其中面向指定的负载电流端子元件(5,5',5”)的所述部分(4b”)的表面(4b”')构造成平面形式。
10.根据权利要求1所述的功率半导体装置,其特征在于,所述中间元件(9)以材料接合的方式,或以力锁合和/或正向锁合的方式,连接到所述弹性变形元件(4b)。
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