[发明专利]用于掩膜板的对位装置、蒸镀设备及对位方法

说明书

本发明提供一种用于掩膜板的对位装置、蒸镀设备及对位方法。该对位装置包括：能够分别移动的至少两个磁性件，每一所述磁性件均能够形成均匀磁场，且当每一所述磁性件均位于第一预设位置时，至少两个所述磁性件相组合在第二预设位置形成均匀面磁场；其中，所述掩膜板处于所述第二预设位置时，至少两个所述磁性件相组合所形成面磁场对所述掩膜板施加使所述掩膜板朝所述第一预设位置移动的磁场力。本发明所述对位装置通过设置至少两个磁性件，能够保证每一下垂位置的掩膜板在磁场力作用下均能够以相同移动速度，带动玻璃基板移动，避免掩膜板下垂产生褶皱，造成对位精度不准确的影响。

技术领域

本发明涉及显示器制备技术领域，尤其是指用于掩膜板的对位装置、蒸镀设备及对位方法。

背景技术

有机发光二级管(Organic Light-Emitting Diode，简称OLED)显示器由于具有薄、轻、宽视角、主动发光、发光颜色连续可调、成本低、响应速度快、能耗小、驱动电压低、工作温度范围宽、生产工艺简单、发光效率高及可柔性显示等多项优点，成为极具发展前景的下一代显示技术。

目前，蒸镀工艺为OLED显示器制造过程中必不可少的工艺过程。蒸镀工艺是指在真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料熔化或升化为原子、分子或原子团构成的蒸汽，穿过掩膜板在基板上形成预定形状的膜层，以制成所需要的功能层。

基于蒸镀工艺的上述过程，在进行蒸镀之前，须将掩膜板与基板进行对位，保证基板上所形成蒸镀材料的膜层为设定位置。现有技术将掩膜板与基板对位的方式是通过形成均匀磁场，利用均匀磁场对掩膜板的吸引力使掩膜板与基板相对位贴合。然而采用该方式进行掩膜板对位时，由于基板和掩膜板通常为柔性材料制成，对位时局部区域会有一定下垂量，而且不同位置下垂量不同，而整体结构设置用于产生均匀磁场的磁隔板，对掩膜板每一位置的吸附力却相同，由于掩膜板上不同位置下垂量不同，容易造成对位后基板产生褶皱或者掩膜板与基板不能够完全贴合，基板与掩膜板不能良好接触对位，从而影响对位精度，甚至造成所制成OLED显示器的混色等不良。

发明内容

本发明技术方案的目的是提供一种用于掩膜板的对位装置、蒸镀设备及对位方法，用于解决现有技术掩膜板的对位，由于基板和掩膜板下垂，造成掩膜板与基板不能良好贴合的问题。

本发明实施例提供一种用于掩膜板的对位装置，所述掩膜板采用金属材料制成，其中，所述对位装置包括：

能够分别移动的至少两个磁性件，每一所述磁性件均能够形成均匀磁场，且当每一所述磁性件均位于第一预设位置时，至少两个所述磁性件相组合在第二预设位置形成均匀面磁场；

其中，所述掩膜板处于所述第二预设位置时，至少两个所述磁性件相组合所形成面磁场对所述掩膜板施加使所述掩膜板朝所述第一预设位置移动的磁场力。

优选地，所述用于掩膜板的对位装置，其中，所述对位装置还包括：

驱动结构，用于分别驱动每一所述磁性件在第一位置与第二位置之间移动；其中，所述第一预设位置为所述第一位置、所述第二位置或者所述第一位置和所述第二位置之间的其中一位置。

优选地，所述用于掩膜板的对位装置，其中，当每一所述磁性件均位于第一预设位置时，至少两个所述磁性件中的第一磁性件围绕至少两个所述磁性件中的第二磁性件设置。

优选地，所述用于掩膜板的对位装置，其中，至少两个所述磁性件分别形成为板状件，在所述第一预设位置时，每一所述磁性件分别位于同一平面。

优选地，所述用于掩膜板的对位装置，其中，所述掩膜板处于所述第二预设位置时平行于至少两个所述磁性件。

优选地，所述用于掩膜板的对位装置，其中，所述第二磁性件的面积小于所述掩膜板的面积。

优选地，所述用于掩膜板的对位装置，其中，所述第一磁性件上设置有与所述第二磁性件的形状和尺寸对应的第一开孔；