[发明专利]振子及制造方法、压电致动器及电机、机器人及输送装置

权利要求书

1.一种振子，其特征在于，具有：

振动部，具备一对振动基板以及配置在所述一对振动基板之间的压电体；

支承部，具备一对支承基板以及配置在所述一对支承基板之间的基板间部；以及

布线，配置于所述振动部和所述支承部，

所述布线从所述支承部露出，

所述支承部在表面具有开口的凹部，所述布线在所述凹部中露出，

所述振子具有与所述布线的所露出的部分接触的导电部，

所述导电部从所述支承部突出配置，

所述布线在所述支承部的侧面，与布线基板连接，

所述振子具有：

第一基板，包括一个所述振动基板及一个所述支承基板；

第二基板，包括另一个所述振动基板及另一个所述支承基板；

所述布线具有：

第一布线，配置于所述第一基板；以及

第二布线，配置于在所述第二基板。

2.根据权利要求1所述的振子，其特征在于，

在所述一对振动基板之间，具有沿所述一对振动基板重叠的方向层叠的多个所述压电体。

3.一种压电致动器，其特征在于，具有：

权利要求1至2中任一项所述的振子；以及

在所述振子中配置的凸部。

4.根据权利要求3所述的压电致动器，其特征在于，

所述压电致动器具有多个所述振子，多个所述振子层叠。

5.根据权利要求3或4所述的压电致动器，其特征在于，

在所述支承部中具有与所述布线电连接的电路部件。

6.一种压电电机，其特征在于，

具备权利要求1至2中任一项所述的振子。

7.一种机器人，其特征在于，

具备权利要求1至2中任一项所述的振子。

8.一种电子部件输送装置，其特征在于，

具备权利要求1至2中任一项所述的振子。

9.一种振子的制造方法，其特征在于，包括：

准备振子的工序，所述振子具有振动部、支承部和布线，所述振动部具备一对振动基板以及配置在所述一对振动基板之间的压电体，所述支承部具备一对支承基板以及配置在所述一对支承基板之间的基板间部，所述布线配置于所述振动部和所述支承部，并具有从所述支承部向外部露出的露出部，所述支承部在表面具有开口的凹部，所述布线在所述凹部中露出，所述振子具有与所述布线的所露出的部分接触的导电部，所述导电部从所述支承部突出配置，所述布线在所述支承部的侧面，与布线基板连接；所述振子具有：第一基板，包括一个所述振动基板及一个所述支承基板；第二基板，包括另一个所述振动基板及另一个所述支承基板；所述布线具有：第一布线，配置于所述第一基板；以及第二布线，配置于在所述第二基板；以及

通过镀覆法形成与所述露出部接触的导电部的工序。