[发明专利]振子及制造方法、压电致动器及电机、机器人及输送装置

说明书

本申请一种振子及制造方法、压电致动器及电机、机器人及输送装置，其振子能够容易地与外部电连接。该振子具有：振动部，具备一对振动基板以及配置在所述一对振动基板之间的压电体；支承部，具备一对支承基板以及配置在所述一对支承基板之间的基板间部；以及布线，配置于所述振动部和所述支承部，所述布线从所述支承部露出。

技术领域

本发明涉及振子、压电致动器、压电电机、机器人、电子部件输送装置及振子的制造方法

背景技术

目前，已知具备压电元件的压电致动器(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的压电致动器具有振动体，所述振动体具有两张加强板、和在两张加强板之间配置的压电元件。此外，压电元件的布线从振动体的侧面向外部露出，通过该露出的部分(以下也称为“端子”)能够与外部电连接。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-340503号公报

这里，在压电致动器领域，除了上述振动体之外，有时也配置支承部，所述支承部用于支承振动体，同时将压电致动器固定在对象物上。此外，在从振动体的厚度方向俯视观察时，支承部一般配置在振动体的周围。在将这种支承部适用于专利文献1的压电致动器的情况下，振动体的侧面与支承部相对，通过从振动体的侧面向外部露出的端子与外部进行电连接可能会很困难(有时无法确保进行连接的充分空间)。

发明内容

本发明的目的在于提供能够容易地与外部电连接的振子，并提供具备该振子的压电致动器、压电电机、机器人、电子部件输送装置以及该振子的制造方法。

上述目的可通过下述的本发明实现。

本发明提供一种振子，其特征在于，具有：振动部，具备一对振动基板以及配置在所述一对振动基板之间的压电体；支承部，具备一对支承基板以及配置在所述一对支承基板之间的基板间部；以及布线，配置于所述振动部和所述支承部，所述布线从所述支承部露出。

由此，能够提供能够容易地与外部电连接的振子。

在本发明的振子中，优选的是，所述基板间部具有绝缘性。

由此，能够容易地配置布线。

在本发明的振子中，优选的是，所述振子具有：第一基板，包括一个所述振动基板及一个所述支承基板；第二基板，包括另一个所述振动基板及另一个所述支承基板。

由此，能够使振子的结构变简单。此外，振子的制造也比较容易。

在本发明的振子中，优选的是，所述基板间部在所述第一基板和所述第二基板重叠的方向上的厚度小于所述压电体。

由此，能够将第一基板、第二基板和压电体更可靠地贴合。

在本发明的振子中，优选的是，所述布线具有：第一布线，配置于所述第一基板；以及第二布线，配置于在所述第二基板。

由此，能够防止第一布线和第二布线短路，同时能够提高第一布线及第二布线的配置自由度。

在本发明的振子中，优选的是，所述支承部在表面具有开口的凹部，所述布线在所述凹部中露出。

由此，能够容易使布线从支承部露出。

在本发明的振子中，优选的是，所述振子具有与所述布线的所露出的部分接触的导电部。

由此，能够容易地与外部电连接。

在本发明的振子中，优选的是，所述导电部从所述支承部突出配置。

由此，能够容易地与外部电连接。