[发明专利]一种镜片多层高通光耐久镀膜工艺

权利要求书

1.一种镜片多层高通光耐久镀膜工艺，其特征在于，包括以下步骤：

（1）、选取镜片，折射率在1.45-1.8之间，确定镀膜膜系结构为A+(B+C)^m+D+E；其中A层为SiO₂，所述B层为氧化铝、氧化镁、氧化锌中的一种，所述C为氟化镁、氟化钙中的一种，D为内保护层，所述内保护层D为TiO₂层或Ti₃O₅层； E为外保护层，所述外保护层E为Si₃N₄层，m=2或3；

（2）、使用溅射法镀上A层；

（3）、将镜片置于可旋转的工件盘上，选取蒸发角度范围在55~75°，放入热气流蒸镀室，蒸镀室温度80~88℃，相对湿度75±5%，同时工件盘旋转，旋转时镜片绕其形心作平面回转运动，按此法依次镀上各层B层和C层；

（4）、（3）步骤后镜片缓慢冷却，用电子束蒸镀法对镜片镀上D层和E层。

2.根据权利要求1所述的一种镜片多层高通光耐久镀膜工艺，其特征在于，所述内保护层D厚度为60-95nm，所述外保护层E厚度为100-150nm。

3.根据权利要求1所述的一种镜片多层高通光耐久镀膜工艺，其特征在于， B层的第一层紧贴A层，所述B层厚度为45-60nm，所述C层厚度为30-50nm，再依次镀上第二层B层、C层，如此循环。

4.根据权利要求1所述的一种镜片多层高通光耐久镀膜工艺，其特征在于，所述A层SiO₂的厚度为80-120nm。

5.根据权利要求1所述的一种镜片多层高通光耐久镀膜工艺，其特征在于，所述步骤（4），镜片进入电子束蒸镀室的蒸镀工艺条件为：蒸镀室温度15-22℃，相对湿度40-49%。

6.根据权利要求1所述的一种镜片多层高通光耐久镀膜工艺，其特征在于，所述步骤（3）的冷却时间不少于6h。

7.根据权利要求3所述的一种镜片多层高通光耐久镀膜工艺，其特征在于，所述B层或C层从内向外膜层厚度分别依次增大。