[发明专利]一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置

权利要求书

1.一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置，包括固定在地面上的下气室（1）和反应腔室（4），其特征在于，所述下气室（1）侧壁上开有第一通孔，且第一通孔内套接有水蒸气管（2），所述下气室（1）靠近水蒸气管（2）的侧壁上开有第二通孔，且第二通孔内套接有Zn（C₂H₅）₂气管（3），所述下气室（1）顶部侧壁开有第三通孔，且Zn（C₂H₅）₂气管（3）远离下气室（1）一端套接在第三通孔内，所述反应腔室（4）内壁两侧卡接有同一沉淀板（10），且反应腔室（4）侧壁上开有第四通孔，且第四通孔内套接有进气管（7），所述进气管（7）底部外壁套接有循环气管（11），且循环气管（11）外壁开有气孔（12），所述循环气管（11）远离反应腔室（4）一侧套接在第三通孔内，所述进气管（7）顶部外壁通过三通管套接有螺旋混合管（8），且螺旋混合管（8）一侧外壁套接有第一送气管（6），螺旋混合管（8）另一侧外壁套接有第二送气管（9），所述第一送气管（6）和第二送气管（9）底部外壁均焊接有送气斗（5），所述下气室（1）顶部焊接有连通下气室（1）和反应腔室的单向透气板（13）。

2.根据权利要求1所述的一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置，其特征在于，所述单向透气板（13）由高分子单向透气膜制成，且单向透气板（13）的单向透气方向为下气室（1）到反应腔室（4）。

3.根据权利要求1所述的一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置，其特征在于，所述沉淀板（10）的数量为十至十五个，且十至十五个沉淀板（10）等距离对称分布于反应腔室（4）两侧内壁之间。

4.根据权利要求1所述的一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置，其特征在于，所述气孔（12）数量为二十至三十个，且二十至三十个气孔（12）等距离环形分布于循环气管（11）外壁。

5.根据权利要求1所述的一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置，其特征在于，所述沉淀板（10）外壁涂覆有催化剂。

6.根据权利要求1所述的一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置，其特征在于，所述循环气管（11）的外径比Zn（C₂H₅）₂气管（3）外径小，且循环气管（11）的外径为二至三厘米，Zn（C₂H₅）₂气管（3）的外径为五至八厘米。