[发明专利]坐标校正方法和坐标测定装置

说明书

本发明涉及坐标校正方法和坐标测定装置。前级校正步骤包括：将测定探头(300PR)配置于驱动机构(220PR)；限制测定触头(306PR)；分别获取移动量(Mpr)和探头输出(Ppr)；生成用于校正探头输出(Ppr)的由线性校正元素(A_LE)和非线性校正元素(A_NLE)构成的前级校正矩阵(AA)。后级校正步骤包括：将测定探头(300)配置于驱动机构(220)；限制测定触头(306)；分别获取移动量(M)和探头输出(P)；生成用于校正探头输出(P)的由线性校正元素(B_LE)构成的中间校正矩阵(BB)；利用基于中间校正矩阵(BB)和前级校正矩阵(AA)生成的后级校正矩阵(EE)校正探头输出(P)。

2016年8月26日提交的日本专利申请2016-166345的包括说明书、附图和权利要求书的全部内容通过引用而被包含于此。

技术领域

本发明涉及一种坐标校正方法和坐标测定装置，特别是涉及一种能够校正从测定探头输出的探头输出的非线性误差并且能够使紧挨着测定之前的校正简单化的坐标校正方法和坐标测定装置。

背景技术

以往，已知一种坐标测定装置，具备：测定探头，其具备测针和探头主体，该测针具有用于与被测定物接触的测定触头(接触构件)，该探头主体将该测针以能够移动的方式支承，按照该测定触头的位移进行探头输出；驱动机构，其用于保持该测定探头并使该测定探头移动；以及处理装置，其基于该探头输出和由该驱动机构使该测定探头移动的移动量运算所述被测定物的形状坐标。在该处理装置中，通过将驱动机构使测定探头在坐标测定装置的坐标系即装置坐标系上的移动量{x_m，y_m，z_m}^T(称为M)与在测定探头的坐标系即探头坐标系的探头输出{x_p，y_p，z_p}^T(称为P)相加，能够运算式(1)所示的形状坐标{x，y，z}^T(称为XX)。

在此，在日本专利5297787号公报(以下称为日本专利文献1)中，为了降低装置坐标系与探头坐标系的不一致所产生的误差，提出了如下一种方法：在限制了测定触头的平动位移的状态下由驱动机构驱动测定探头，基于此时的多个测定点处的测定探头的移动量M和探头输出P生成校正矩阵A。通过求出的校正矩阵A，能够如式(2)所示那样从探头输出P变换为在装置坐标系上的变换输出{x_{p_m}，y_{p_m}，z_{p_m}}^T(称为PM)。而且，如式(3)所示那样，通过将测定探头的移动量M加上该变换输出PM，能够运算形状坐标XX。

其中，校正矩阵A

此外，符号A₁₁～A₃₃是构成校正矩阵A的校正元素，用于校正探头输出P的各坐标成分。

发明内容

发明要解决的问题